[發明專利]一種測量微棱鏡反射波前的干涉儀在審
| 申請號： | 202010863744.1 | 申請日： | 2020-08-25 |
| 公開（公告）號： | CN111854983A | 公開（公告）日： | 2020-10-30 |
| 發明（設計）人： | 祝沛 | 申請（專利權）人： | 上海乾曜光學科技有限公司 |
| 主分類號： | G01J9/00 | 分類號： | G01J9/00;G01J9/02;G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海助之鑫知識產權代理有限公司 31328 | 代理人： | 王風平 |
| 地址： | 201800 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 測量 棱鏡 反射 干涉儀 | ||
【權利要求書】：
1.一種測量微棱鏡反射波前的干涉儀，與干涉儀本體相對應，干涉儀本體上安裝有鏡頭；所述鏡頭的前方安裝有待測的棱鏡；
其特征在于：
所述鏡頭上設置有球面鏡片，球面鏡片的光線直射到待測的棱鏡上；所述待測的棱鏡的一側設置有球面反射鏡；球面反射鏡的凹面面對待測的棱鏡。
2.根據權利要求1所述的一種測量微棱鏡反射波前的干涉儀，其特征在于：所述待測的棱鏡的側面為工作面，工作面斜向設置；工作面、球面反射鏡和球面鏡片呈直角三角形形狀排列。
3.根據權利要求2所述的一種測量微棱鏡反射波前的干涉儀，其特征在于：所述球面鏡頭的F數為2.8-7.0。
4.根據權利要求3所述的一種測量微棱鏡反射波前的干涉儀，其特征在于：所述球面鏡頭的F數為5.6。
5.根據權利要求2所述的一種測量微棱鏡反射波前的干涉儀，其特征在于：所述球面反射鏡的曲率半徑與直徑比例為2.8。
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