[發明專利]一種可自動翻面的行星架樣品臺

在審

• 申請號: 202010861264.1
• 申請日: 2020-08-25
• 公開（公告）號: CN111945127A
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發明（設計）人: 金炯;姜瓊;王丙利
• 申請（專利權）人: 浙江賽威科光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/24
• 代理公司: 北京沁優知識產權代理有限公司 11684
• 代理人: 林捷達

一種可自動翻面的行星架樣品，包括支撐臺和行星架，行星架上包括有多組支架以及多組翻轉臺，各組翻轉臺的一側均與對應的支架轉動連接，另一側均設有傳動組件，傳動組件包括連接軸、翻面錐齒、主動錐齒以及從動錐齒，連接軸上套設有通過軸承轉動連接的軸套，翻面錐齒固定連接在軸套上，翻轉臺包括外環和內環，內環上放置有膜片，翻面錐齒與第一驅動錐齒嚙合，第一旋轉電機驅動第一驅動錐齒轉動以使外環在豎直面上翻轉，內環的底面設有與從動錐齒嚙合的齒盤，主動錐齒與第二驅動錐齒嚙合，第二旋轉電機驅動第二驅動錐齒轉動以使內環上的膜片在水平面上轉動；本發明優點在于：能自動將載有的膜片進行翻面使得膜片的雙面能均勻對稱的進行鍍膜。

技術領域

本發明涉及鍍膜設備的技術領域，尤其是一種可自動翻面的行星架樣品臺。

背景技術

本發明中的行星架樣品臺主要應用在鍍膜設備中，由于鍍膜的應用比較廣泛，而本發明針對的是小型膜片鍍膜，如常用的相機鏡頭、近視、遠視、老花鏡等矯正眼鏡的鏡片，而薄膜均勻性取決于蒸發源的蒸發特性、基片的幾何形狀、基片與蒸發源的相對位置等因素；常采用基片和蒸發源相對運動的原理，基片旋轉是最實用化的獲得均勻薄膜的方法，對于基片雙面鍍膜，目前的鍍膜設備均是采用水平轉動膜座以使單面鍍膜，當鍍完一面膜片之后停止鍍膜設備的運行，打開鍍膜設備的安全門，手動將膜座上的膜片翻轉換面，這種人工進行手動對膜片進行翻面的操作為采用停止鍍膜，更換所鍍的表面，很難保證基片兩個表面膜層的均勻性和對稱性；且降低了鍍膜的效率；因此本發明設計這種能自動將膜片進行翻面鍍膜的行星架樣品臺。

發明內容

本發明的目的在于克服現有技術的不足，提供一種能自動將載有的膜片進行翻面使得膜片的雙面能均勻對稱的進行鍍膜的行星架樣品臺。

本發明解決其技術問題是采取以下技術方案實現的：

該種可自動翻面的行星架樣品臺，包括支撐臺和行星架，所述支撐臺上包括有第一旋轉機構，所述第一旋轉機構包括第一旋轉電機、第一驅動軸以及第一驅動錐齒，所述第一驅動錐齒套設在所述第一驅動軸上，所述行星架下方設有第二旋轉機構，所述第二旋轉機構包括第二旋轉電機、第二驅動軸以及第二驅動錐齒，所述第二驅動錐齒套設在所述第二驅動軸上，所述行星架上包括有多組支架以及多組翻轉臺，各組所述翻轉臺的一側均與對應的支架轉動連接，另一側均設有傳動組件，所述傳動組件包括連接軸、翻面錐齒、主動錐齒以及從動錐齒，所述連接軸一端穿過所述支架，所述主動錐齒與所述從動錐齒分別設置在連接軸兩端，所述連接軸上套設有通過軸承轉動連接的軸套，所述翻面錐齒固定連接在軸套上，所述翻轉臺包括外環和內環，所述外環與所述內環轉動連接，所述內環上放置有膜片，所述軸套的一端固定連接在外環上，所述翻面錐齒與所述第一驅動錐齒嚙合，所述第一旋轉電機驅動所述第一驅動錐齒轉動以使所述外環在豎直面上翻轉，所述內環的底面設有與從動錐齒嚙合的齒盤，所述主動錐齒與所述第二驅動錐齒嚙合，所述第二旋轉電機驅動所述第二驅動錐齒轉動以使所述內環上的膜片在水平面上轉動。

優選的，所述第一驅動錐齒的直徑大于第二驅動錐齒的直徑，所述翻面錐齒的直徑大于主動錐齒的直徑。

優選的，所述支撐臺上還設有升降機構，所述行星架還包括有圓盤，各組所述支架均固定連接在圓盤的底面，所述升降機構包括框架、第三旋轉電機、移動板、螺桿以及導桿，所述第三旋轉電機位于框架上，所述螺桿一端與第三旋轉電機連接，另一端通過軸承轉動連接在框架底面上，所述導桿位于框架上，所述移動板套設在螺桿和導桿上，所述移動板與所述螺桿螺紋連接，所述第一驅動軸外套設有管套，所述管套穿過支撐臺連接在圓盤上，所述管套外還套設有穿過支撐臺的外套，所述外套與管套之間通過軸承連接，所述移動板固定連接在外套上。

優選的，所述支撐臺上還設有第三旋轉機構，所述第三旋轉機構包括支撐架、第四旋轉電機、齒軸以及轉動齒輪，所述第四旋轉電機位于支撐架上，所述第四旋轉電機通過皮帶帶動齒軸轉動，所述轉動齒輪套設在齒軸上，所述圓盤與所述支撐臺之間的管套上固定套設有傳動齒輪，所述轉動齒輪與所述傳動齒輪嚙合。