[發明專利]半導體硅棒自動磨削加工機床

在審

• 申請號: 202010857719.2
• 申請日: 2020-08-24
• 公開（公告）號: CN111906663A
• 公開（公告）日: 2020-11-10
• 發明（設計）人: 唐學千;聶鳳軍;劉秀坤;韓業恒;魏來
• 申請（專利權）人: 連城凱克斯科技有限公司
• 主分類號: B24B27/00
• 分類號: B24B27/00;B24B5/04;B24B5/35;B24B5/50;B24B19/02;B24B41/02;B24B41/06;B24B47/12;B24B47/20;B24B47/04;B24B47/22;B24B49/00
• 代理公司: 大連東方專利代理有限責任公司 21212
• 代理人: 李洪福

1.一種半導體硅棒自動磨削加工機床，包括左右延伸且水平設置的底座，所述底座的中部上方設有夾持硅棒且驅動所述硅棒圍繞其軸線轉動的夾具裝置和驅動所述夾具裝置左右運動的夾具驅動裝置，所述底座的左部前側安裝有上下料裝置，其特征在于，所述底座的中部前側分別設有用于對硅棒粗磨削的粗磨裝置和用于對硅棒精磨削的精磨裝置，且所述粗磨裝置和所述精磨裝置之間設有用于檢測硅棒尺寸的工件尺寸檢測裝置，所述底座的中部后側在所述精磨裝置所正對處安裝有用于檢測硅棒晶向的硅棒晶向檢測裝置，所述底座的中部后側在所述粗磨裝置所正對處安裝有用于對硅棒加工V形槽的立式磨頭裝置。

2.根據權利要求1所述的一種半導體硅棒自動磨削加工機床，其特征在于，所述夾具驅動裝置包括通過安裝架安裝在所述底座上方且左右水平延伸的驅動絲杠，且所述驅動絲杠的輸入端連接有驅動電機和驅動減速器，所述驅動絲杠的下方設有固定在所述安裝架上且左右水平延伸的驅動導軌，所述驅動導軌底部連接有與所述驅動導軌滑動連接的驅動滑臺，所述驅動滑臺的頂部與所述驅動絲杠的輸出端固定連接，所述驅動滑臺的底部連接有所述夾具裝置。

3.根據權利要求1所述的一種半導體硅棒自動磨削加工機床，其特征在于，所述夾具裝置包括固定在所述夾具驅動裝置底部的夾具安裝架，所述夾具安裝架上安裝有水平設置且左右延伸的夾具絲杠和驅動所述夾具絲杠工作的夾具電機和夾具減速器；

所述夾具安裝架的底部一端轉動連接有浮動夾頭，且所述浮動夾頭與固定在所述夾具安裝架上的夾頭電機和夾頭減速器的輸出端連接；

所述夾具絲杠的輸出端的底部固定有移動夾頭。

4.根據權利要求3所述的一種半導體硅棒自動磨削加工機床，其特征在于，所述移動夾頭包括夾頭體，且所述夾頭體具有多個圍繞所述夾頭體的軸線均勻分布的多個邊部夾釘；

所述浮動夾頭包括夾持體，所述夾持體遠離所述夾頭電機和夾頭減速器的一側端面的中心安裝有中心夾緊單元，且圍繞所述中心夾緊單元安裝有多個均勻分布的邊部夾緊單元；

所述中心夾緊單元包括一端穿入所述夾持體內的中心導向套，且所述中心導向套的另一端通過封蓋和螺栓與所述夾持體的端面固定連接，中心推桿的一端穿入所述中心導向套內，所述中心導向套在所述夾持體內的一端加工有與所述中心推桿的此端相匹配的中心通孔，所述中心推桿在所述中心導向套內的部分加工有與所述封蓋接觸連接的軸肩凸起，所述軸肩凸起與所述中心通孔的外沿之間設有套在所述中心推桿上的預緊碟簧組；所述中心推桿遠離所述預緊碟簧組的一端固定有中部夾緊釘；

所述夾持體的遠離所述中心夾緊單元的一端固定安裝有進入所述夾持體內的中心球面，所述中心球面與所述中心夾緊單元之間設有浮動支撐板，且所述浮動支撐板在靠近所述中心球面的一側加工有與所述中心球面相匹配的球面凹槽，且所述中心球面設置在所述球面凹槽內，所述球面凹槽的外沿加工有與數量與所述邊部夾緊單元的數量相匹配的限位面；

所述邊部夾緊單元包括一端穿入所述夾持體內的邊部導向套，且所述邊部導向套的另一端與所述夾持體固定連接，邊部推桿的一端穿過所述邊部導向套，且所述邊部推桿的此端加工有邊部球面，所述邊部球面與所述限位面接觸連接，所述邊部球面遠離所述限位面的一側與所述邊部導向套在所述夾持體內的一端外沿之間設有套設在所述邊部推桿上的邊部預緊彈簧，所述邊部推桿的另一端設置在所述夾持體外，并固定有邊部夾緊釘；

所述中心推桿在所述夾持體外的一端與所述夾持體之間的距離大于所述邊部推桿在所述夾持體外的一端與所述夾持體之間的距離；

所述浮動支撐板與所述中心導向套之間設有浮動間隙。