[發明專利]一種用于濾波器與諧振器的金屬化方法

有效

• 申請號: 202010830793.5
• 申請日: 2020-08-18
• 公開（公告）號: CN111864333B
• 公開（公告）日: 2021-11-26
• 發明（設計）人: 馬才兵;麥艷紅;楊繼聰
• 申請（專利權）人: 廣東國華新材料科技股份有限公司
• 主分類號: H01P11/00
• 分類號: H01P11/00;H01P1/20;H01P7/10
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 黃忠

1.一種用于濾波器與諧振器的金屬化方法，所述濾波器與所述諧振器的介電材料均采用陶瓷，其特征在于，對所述陶瓷進行金屬化包括以下步驟：

步驟一：將預置于可旋轉的置物盤內的所述陶瓷浸沒在容器內預先裝入的導電銀漿中，然后，將裝有所述陶瓷的所述容器放于真空環境下，旋轉所述置物盤，待旋轉持續預定時間后，取出所述陶瓷，在溫度為135℃～165℃的環境下進行烘干，烘干后進行燒結，得到鍍有銀層的陶瓷，所述銀層的厚度為0.3～3μm；

步驟二：在所述銀層表面采用厚膜工藝鍍銅并形成厚度均勻的銅層，所述銅層的厚度為6～50μm，將鍍好所述銅層后的陶瓷放于溫度為135℃～165℃的還原氣氛中進行烘干；

步驟三：通過所述步驟二烘干后的陶瓷放于燒結爐中進行燒結，燒結完成后將所述陶瓷進行降溫至室溫；

所述步驟三中進行燒結的具體步驟包括：通過所述步驟二烘干后的陶瓷放于燒結爐中進行燒結，當燒結的溫度為450℃以下時，向所述燒結爐通入氧化氣氛氣體；當燒結的溫度為650℃以上時，向所述燒結爐通入還原氣氛氣體；燒結的最高溫度為920～960℃，當燒結的溫度達到920～960℃時，相應的燒結時間為10～30分鐘。

2.根據權利要求1所述的用于濾波器與諧振器的金屬化方法，其特征在于，所述置物盤為網狀置物盤。

3.根據權利要求1或2所述的用于濾波器與諧振器的金屬化方法，其特征在于，所述容器外部設有電機，所述電機的輸出軸與所述置物盤的底部固定連接，用于驅動所述置物盤進行旋轉。

4.根據權利要求1所述的用于濾波器與諧振器的金屬化方法，其特征在于，所述步驟一中將裝有所述陶瓷的所述容器放于真空環境下具體包括：將裝有所述陶瓷的所述容器放于真空室內，所述真空室的氣壓為0.3atm。

5.根據權利要求1所述的用于濾波器與諧振器的金屬化方法，其特征在于，所述導電銀漿的粘度小于0.1Pa·S。

6.根據權利要求3所述的用于濾波器與諧振器的金屬化方法，其特征在于，所述步驟一中旋轉所述置物盤持續預定時間為2～3分鐘，旋轉所述置物盤的轉速為5～10圈/分鐘。

7.根據權利要求1所述的用于濾波器與諧振器的金屬化方法，其特征在于，所述步驟一中燒結的最高溫度為850～910℃，相應的燒結持續時間為10～15分鐘。

8.根據權利要求1所述的用于濾波器與諧振器的金屬化方法，其特征在于，所述步驟二中的厚膜工藝具體采用噴涂、絲印或浸涂中的一種或多種。

9.根據權利要求1所述的用于濾波器與諧振器的金屬化方法，其特征在于，所述步驟三中燒結的具體步驟還包括：當燒結的溫度為450℃以下時，升溫速率小于30度/分鐘；當燒結的溫度超過450℃時，升溫速度小于40度/分鐘。