[發明專利]一種固體氧化物燃料電池電堆連接體保護涂層的制備方法在審
| 申請號: | 202010822432.6 | 申請日: | 2020-08-17 |
| 公開(公告)號: | CN112195444A | 公開(公告)日: | 2021-01-08 |
| 發明(設計)人: | 劉凌宇 | 申請(專利權)人: | 徐州華清智能裝備有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/32 | 分類號: | C23C14/32;C23C14/16;C23C14/04;H01M8/0202;H01M8/2465 |
| 代理公司: | 北京中政聯科專利代理事務所(普通合伙) 11489 | 代理人: | 李延峰 |
| 地址: | 221000 江蘇省徐州市徐州經濟技術*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 固體 氧化物 燃料電池 連接 保護 涂層 制備 方法 | ||
1.一種固體氧化物燃料電池電堆連接體保護涂層的制備方法,其特征是:采用多弧離子鍍膜的方式將MnCo合金均勻致密地鍍膜到電堆連接體表面,在其與組成固體氧化物燃料電池電堆的電池單元之間形成MnCo涂層。
2.根據權利要求1所述的一種固體氧化物燃料電池電堆連接體保護涂層的制備方法,其特征是:所述的MnCo涂層在電堆連接體表面的覆蓋面積與組成固體氧化物燃料電池電堆的電池單元大小一致。
3.根據權利要求1或2所述的一種固體氧化物燃料電池電堆連接體保護涂層的制備方法,其特征是:制備所述MnCo涂層采用的MnCo合金靶材,其中Mn與Co的質量比為6:4。
4.根據權利要求3所述的一種固體氧化物燃料電池電堆連接體保護涂層的制備方法,其特征是:所述的電堆連接體為金屬連接體。
5.根據權利要求4所述的一種固體氧化物燃料電池電堆連接體保護涂層的制備方法,其特征是,具體步驟如下:
S1:在多弧離子鍍膜機內裝入MnCo合金靶材;
S2:將電堆連接體上不需要鍍膜的地方采用遮擋體遮住,只暴露需要鍍膜層的面積;
S3:再將遮擋完成的電堆連接體均勻的上掛到鍍膜室內的轉架上,掛好電堆連接體后加熱抽真空,將鍍膜室內的殘余空氣和水汽抽出;
S4:待真空度抽到3x10-3pa時通入1000sccm氬氣、偏壓值設定為150V,占空比為50%、弧靶電流設定為100A,打開弧靶開始采用多弧離子鍍膜的方式將MnCo合金均勻致密的鍍膜到電堆連接體表面,根據需要的不同厚度可以設定不同的弧電流值和鍍膜時間;
S5:鍍膜時間達到設定值時關閉偏壓、氬氣、弧電流,對鍍膜室內進行抽真空降溫,待溫度降低到100℃以下時即可打開爐體。
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