[發明專利]氧化銦鎵鋅靶材的電化學回收再利用方法

在審

• 申請號: 202010820246.9
• 申請日: 2020-08-14
• 公開（公告）號: CN111979563A
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發明（設計）人: 宋建勛;李少龍;車玉思;舒永春;何季麟
• 申請（專利權）人: 鄭州大學
• 主分類號: C25C3/36
• 分類號: C25C3/36;C25B1/00;C01G15/00;B82Y40/00
• 代理公司: 北京衛智暢科專利代理事務所(普通合伙) 11557
• 代理人: 朱春野

1.氧化銦鎵鋅靶材的電化學回收再利用方法，其特征在于，該方法包括：

(1)恒電位電解過程：以氧化銦鎵鋅為原料，以包含氯化鈣的熔融鹽為電解質，以第一石墨電極為第一陰極，以第二石墨電極為第一陽極，在惰性氣體保護下進行恒電位電解，得到銦鎵鋅合金；

(2)恒電流電解過程：以銦鎵鋅合金為第二陽極，以氯化銨水溶液為電解液，進行恒電流電解，得到銦鎵鋅氫氧化物沉淀；

(3)煅燒過程：煅燒銦鎵鋅氫氧化物沉淀，得到納米級銦鎵鋅氧化物復合粉體。

2.根據權利要求1所述氧化銦鎵鋅靶材的電化學回收再利用方法，其特征在于，恒電流電解過程中，以石墨、不銹鋼、鎳、鉬或鎢為第二陰極。

3.根據權利要求1所述氧化銦鎵鋅靶材的電化學回收再利用方法，其特征在于，恒電流電解過程中，所述氯化銨水溶液的濃度為0.5～2.0mol/L，溫度為10～60℃。

4.根據權利要求1所述氧化銦鎵鋅靶材的電化學回收再利用方法，其特征在于，恒電流電解過程中，所述恒電流的電流密度為0.2～2.0A/cm²。

5.根據權利要求1所述氧化銦鎵鋅靶材的電化學回收再利用方法，其特征在于，恒電流電解過程結束后，還包括用氨水調節電解液pH值的步驟。

6.根據權利要求5所述氧化銦鎵鋅靶材的電化學回收再利用方法，其特征在于，pH值的調節范圍為7.5～8.5。

7.根據權利要求1所述氧化銦鎵鋅靶材的電化學回收再利用方法，其特征在于，煅燒銦鎵鋅氫氧化物沉淀的溫度設置為300～600℃，煅燒時間設置為24h。

8.根據權利要求1所述氧化銦鎵鋅靶材的電化學回收再利用方法，其特征在于，恒電位電解過程還包括電解質的預處理步驟，具體包括將電解質在一定真空度10～8×10⁴Pa、溫度250～300℃下保溫處理，除去水分。

9.根據權利要求1所述氧化銦鎵鋅靶材的電化學回收再利用方法，其特征在于，恒電位電解過程中，所述包含氯化鈣的熔融鹽包括CaCl₂，或CaCl₂與NaCl、KCl或LiCl中的至少一種的組合，熔融鹽的溫度設定在550～900℃之間。

10.根據權利要求1所述氧化銦鎵鋅靶材的電化學回收再利用方法，其特征在于，恒電位電解過程中，所述第一石墨電極為石墨容器，所述氧化銦鎵鋅靶材設置在該石墨容器中，恒電位設定為2.5～2.7V。