[發(fā)明專(zhuān)利]移送裝置及安裝裝置在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010816569.0 | 申請(qǐng)日: | 2020-08-14 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN112447569A | 公開(kāi)(公告)日: | 2021-03-05 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 冨樫?gòu)院?/a> | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 芝浦機(jī)械電子裝置株式會(huì)社 |
| 主分類(lèi)號(hào): | H01L21/68 | 分類(lèi)號(hào): | H01L21/68;H01L21/67 |
| 代理公司: | 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205 | 代理人: | 楊貝貝;臧建明 |
| 地址: | 日本神奈川縣橫浜市榮區(qū)笠間二*** | 國(guó)省代碼: | 暫無(wú)信息 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 移送 裝置 安裝 | ||
1.一種移送裝置,移送電子零件,且包括:
噴嘴,在前端保持并拾取所述電子零件;
接收部,以能夠相對(duì)于所述噴嘴相對(duì)移動(dòng)的方式設(shè)置,從所述噴嘴的前端接收所述電子零件;
透射窗,在所述噴嘴設(shè)置于與所述噴嘴的前端相反的一側(cè),能夠辨識(shí)設(shè)置于所述噴嘴的前端的噴嘴孔的開(kāi)口;
第一攝像部,能夠在所述接收部從所述噴嘴的前端接收所述電子零件的位置拍攝所述噴嘴及所述接收部;以及
第一移動(dòng)機(jī)構(gòu),用于基于所述第一攝像部的拍攝圖像使所述噴嘴的中心與所述接收部的規(guī)定位置對(duì)準(zhǔn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的移送裝置,其中
所述噴嘴包括變更前端的朝向的方向轉(zhuǎn)換部,
所述接收部為將所述電子零件安裝于基板,并從變更了所述朝向的所述噴嘴的前端接收所述電子零件的接合頭。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的移送裝置,其中
所述接收部為載置所述電子零件的校準(zhǔn)器,
所述校準(zhǔn)器包括:噴嘴孔,在載置所述電子零件的載置面開(kāi)口;以及透射窗,設(shè)置于與所述載置面相反的一側(cè),能夠辨識(shí)所述校準(zhǔn)器的噴嘴孔的開(kāi)口,且所述移送裝置還包括:
接合頭,從所述接收部接收所述電子零件;
第二攝像部,能夠在所述接合頭從所述校準(zhǔn)器接收所述電子零件的位置拍攝所述校準(zhǔn)器及所述接合頭;以及
第二移動(dòng)機(jī)構(gòu),用于基于所述第二攝像部的拍攝圖像使所述校準(zhǔn)器的規(guī)定位置與所述接合頭的規(guī)定位置對(duì)準(zhǔn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的移送裝置,還包括:
上推銷(xiāo),從裝載有多個(gè)所述電子零件的片材上推由所述噴嘴拾取的所述電子零件;
第三攝像部,能夠在所述噴嘴拾取所述電子零件的位置拍攝所述噴嘴及所述上推銷(xiāo);以及
第三移動(dòng)機(jī)構(gòu),用于基于所述第三攝像部的拍攝圖像在所述拾取位置使所述噴嘴的中心與所述上推銷(xiāo)的中心對(duì)準(zhǔn)。
5.一種安裝裝置,將利用如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的移送裝置所移送的所述電子零件安裝于基板。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類(lèi)目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專(zhuān)門(mén)適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專(zhuān)門(mén)適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專(zhuān)門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專(zhuān)門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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