[發明專利]微器件的轉移方法和轉移系統

在審

• 申請號: 202010816180.6
• 申請日: 2020-08-14
• 公開（公告）號: CN112993120A
• 公開（公告）日: 2021-06-18
• 發明（設計）人: 范春林;張楊;汪慶;王斌
• 申請（專利權）人: 重慶康佳光電技術研究院有限公司
• 主分類號: H01L33/48
• 分類號: H01L33/48;H01L21/683;B23K26/122;B23K26/57;B23K26/70;G21K1/00
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 熊永強

1.一種微器件的轉移方法，其特征在于，包括：

將第一激光分為第二激光和第三激光；

將所述第二激光提供給一激光剝離組件，以使所述激光剝離組件將微器件從襯底剝離；以及

將所述第三激光提供給一光鑷調節組件，通過所述光鑷調節組件將剝離后的所述微器件拾取并轉移至一背板。

2.如權利要求1所述的微器件的轉移方法，其特征在于，所述光鑷調節組件拾取及轉移所述微器件在一溶液中進行；其中，所述溶液的折射率小于所述微器件的折射率。

3.如權利要求2所述的微器件的轉移方法，其特征在于，還包括：

設置所述溶液的溫度小于室溫。

4.如權利要求1所述的微器件的轉移方法，其特征在于，將所述微器件從所述襯底剝離前，還包括：

在所述微器件上包覆一保護層。

5.如權利要求4所述的微器件的轉移方法，其特征在于，所述微器件的數量為多個；所述在所述微器件上包覆一保護層的步驟，包括：

于各所述微器件上沉積一保護層；

對所述保護層進行圖案化處理，以除去相鄰兩個所述微器件之間的所述保護層。

6.如權利要求1至5任一項所述的微器件的轉移方法，其特征在于，所述微器件的數量為多個；所述通過所述光鑷調節組件拾取所述微器件的步驟，包括：

將所述第三激光分成多束子激光，多束所述子激光提供給所述光鑷調節組件，所述光鑷調節組件形成多個光鑷，多個所述光鑷一一對應地拾取多個所述微器件。

7.如權利要求6所述的微器件的轉移方法，其特征在于，所述將所述微器件轉移至所述背板的步驟，包括：

設置所述光鑷調節組件位置固定，將所述背板移動至與所述光鑷調節組件對應的位置后，多個所述光鑷一一對應地將拾取的多個所述微器件轉移至所述背板。

8.如權利要求1至5任一項所述的微器件的轉移方法，其特征在于，所述方法還包括：

獲取所述微器件的實時圖像，根據所述實時圖像進行所述光鑷調節組件拾取所述微器件及轉移至所述背板的操作。

9.一種微器件的轉移系統，其特征在于，所述轉移系統用于執行如權利要求1至8任一項所述的微器件的轉移方法，所述轉移系統包括激光組件、分光鏡、激光剝離組件和光鑷調節組件；

所述激光組件用于產生第一激光；

所述分光鏡用于將所述第一激光分為第二激光和第三激光；

所述激光剝離組件用于接收所述第二激光并將微器件從襯底剝離；以及

所述光鑷調節組件用于接收所述第三激光并將剝離后的所述微器件拾取并轉移至一背板。

10.如權利要求9所述的微器件的轉移系統，其特征在于，所述轉移系統還包括拍攝組件；

所述拍攝組件用于拍攝所述微器件的實時圖像，所述光鑷調節組件根據所述實時圖像拾取所述微器件并將所述微器件轉移至所述背板。