[發明專利]一種光刻機上光刻膠的供料筒結構

在審

• 申請號: 202010787307.6
• 申請日: 2020-08-07
• 公開（公告）號: CN111959941A
• 公開（公告）日: 2020-11-20
• 發明（設計）人: 徐俊
• 申請（專利權）人: 杭州易正科技有限公司
• 主分類號: B65D51/16
• 分類號: B65D51/16;B65D53/02;B65D25/02;G03F7/20
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246
• 代理人: 曹立成

本發明公開了一種光刻機上光刻膠的供料筒結構，包括托盤，托盤上安置有盛膠筒，托盤相對的兩側成型有支耳，支耳上固定有豎直的連接柱，連接柱的上端面上成型有豎直的螺柱，托盤的上端面上成型有環形的保護罩，盛膠筒插接在保護罩內；所述盛膠筒的上端插接有密封蓋，密封蓋的上端面成型有鎖扣板，鎖扣板的兩端伸出盛膠筒插套在螺柱上，螺柱上螺接有螺母，螺母壓靠在鎖扣板上；所述的密封蓋上插接固定有輸送管，輸送管下端插設在盛膠筒的底部。

技術領域

本發明涉及光刻機的技術領域，更具體地說涉及一種光刻機上光刻膠的供料筒結構。

背景技術

隨著國家經濟和科技的發展，液晶顯示器越來越得到廣泛的應用。其中，在液晶顯示器的生產過程中，通常需要使用光刻膠來完成制造，例如陣列基板的生產等。具體地，光刻膠由感光樹脂等組成，通過光線照射，顯影、曝光等操作后，能夠在陣列基板上形成特定圖案，從而便于陣列基板的生產。現有技術中，通常使用的光刻膠由膠筒提供，現有膠筒的供料方式為，膠筒的頂部設置有密封蓋，密封蓋上插接固定有進氣管和輸送管，進氣管的末端插設在膠筒的上端，輸送管的下端插接在膠筒的下端，通過進氣管向膠筒內進氣，利用氣壓將光刻膠壓入輸送管內，輸送管進行供料；但在供料時，通過進氣管輸送的壓縮空氣需要具有足夠的壓力(通常大于10000pa)，其容易導致膠筒內氣壓過高，導致膠筒變形，膠筒變形后發現泄漏問題，影響輸送管的供料。

發明內容

本發明的目的就是針對現有技術之不足，而提供了一種光刻機上光刻膠的供料筒結構，其增設保護罩和可以避免高壓的泄壓結構來保護盛膠筒，避免盛膠筒的變形或損壞。

為實現上述目的，本發明采用的技術方案如下：

一種光刻機上光刻膠的供料筒結構，包括托盤，托盤上安置有盛膠筒，托盤相對的兩側成型有支耳，支耳上固定有豎直的連接柱，連接柱的上端面上成型有豎直的螺柱，托盤的上端面上成型有環形的保護罩，盛膠筒插接在保護罩內；所述盛膠筒的上端插接有密封蓋，密封蓋的上端面成型有鎖扣板，鎖扣板的兩端伸出盛膠筒插套在螺柱上，螺柱上螺接有螺母，螺母壓靠在鎖扣板上；所述的密封蓋上插接固定有輸送管，輸送管下端插設在盛膠筒的底部；

所述密封蓋的上端面上成型有凸臺，凸臺內成型有腔室，密封蓋的下端面上成型有腔室相連通的進氣槽，凸臺的上端面上成型有與腔室相連通的泄壓孔，所述凸臺的上端面成型有與泄壓孔相連通的泄壓閥座，泄壓閥座內插接有閥芯和壓簧，壓簧的兩端分別壓靠在閥芯和調節螺栓上，閥芯壓靠在凸臺上，調節螺栓螺接在泄壓閥座上；所述的泄壓閥座上插接固定有泄壓管；所述的凸臺上成型有與腔室相連通的進氣接管。

優選的，所述托盤的保護罩內壁上粘貼固定有橡膠皮墊。

優選的，所述密封蓋的外壁上成型有環形的密封槽，密封蓋的密封槽內插接有密封圈，密封圈壓靠在盛膠筒的內部上，所述的鎖扣板抵靠在盛膠筒的上端面上。

優選的，所述閥芯的外壁上粘貼固定有橡膠密封套，橡膠密封套壓靠在凸臺的上端面和泄壓閥座的內壁上。

優選的，所述凸臺腔室的上、下底面上分別成型有隔板，隔板分隔凸臺的腔室呈S型通道，所述的泄壓孔和進氣槽分布在S型通道的兩端。

優選的，所述進氣接管的進口和泄壓孔分布在隔板的兩側，進氣接管的進口正對腔室的下底面上。

優選的，所述盛膠筒的長度大于保護罩的長度。

本發明的有益效果在于：其增設保護罩和可以避免高壓的泄壓結構來保護盛膠筒，避免盛膠筒的變形或損壞。

附圖說明

圖1為本發明立體的結構示意圖；

圖2為本發明正視的結構示意圖；

圖3為圖2中A—A處的剖視結構示意圖

圖4為圖3中B處的局部放大示意圖。