[發明專利]一種空間六自由度磁懸浮隔振平臺

有效

• 申請號: 202010783860.2
• 申請日: 2020-08-06
• 公開（公告）號: CN111963624B
• 公開（公告）日: 2022-03-01
• 發明（設計）人: 楊飛;岳洪浩;李韶振;王宇;陸一凡
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: F16F15/03
• 分類號: F16F15/03
• 代理公司: 哈爾濱市陽光惠遠知識產權代理有限公司 23211
• 代理人: 李恩慶

1.一種空間六自由度磁懸浮隔振平臺，其特征在于：它包括動平臺(1)和靜平臺(2)，其中所述動平臺(1)包括上板(11)、下板(12)、連接筒(13)、四個上永磁體陣列(14)、四個下永磁體陣列(15)、若干PSD位移傳感器(16)及若干加速度傳感器(17)，所述上板(11)與下板(12)上下平行布置且通過布置在上板(11)與下板(12)之間的連接筒(13)固接，四個上永磁體陣列(14)固裝在上板(11)的底面，四個下永磁體陣列(15)固裝在下板(12)的頂面，若干PSD位移傳感器(16)分別通過傳感器支架(18)固裝在上板(11)與下板(12)之間，若干加速度傳感器(17)分別設置在上板(11)的底面、下板(12)的頂面及連接筒(13)的內壁上；所述靜平臺(2)包括基座(21)和四個線圈陣列(22)，每個線圈陣列(22)均包括線圈支座(221)、通過線圈支座(221)固裝在基座(21)上的若干豎直線圈(222)以及固裝在豎直線圈(222)上的若干水平線圈(223)；四個線圈陣列(22)對應位于四個上永磁體陣列(14)與四個下永磁體陣列(15)之間，連接筒(13)穿設在四個線圈陣列(22)合圍區域內，每個永磁體陣列均包括磁極方向水平的永磁體和磁極方向豎直的永磁體，工作時，線圈陣列(22)在上永磁體陣列(14)和下永磁體陣列(15)產生的磁場中收到水平立向和豎直方向的洛倫茲力作用，實現水平方向和豎直方向運動的控制；

四個上永磁體陣列(14)與四個下永磁體陣列(15)上下正對設置；

四個上永磁體陣列(14)及四個下永磁體陣列(15)均呈矩形均布設置。

2.根據權利要求1所述的一種空間六自由度磁懸浮隔振平臺，其特征在于：每個永磁體陣列中均包括間隔布置的四個磁極方向豎直的永磁體及三個磁極方向水平的永磁體。

3.根據權利要求2所述的一種空間六自由度磁懸浮隔振平臺，其特征在于：每個線圈陣列(22)均包括三個豎直線圈(222)和四個水平線圈(223)，其中三個豎直線圈(222)相互平行設置且均固裝在線圈支座(221)上，四個水平線圈(223)對應套裝在位于邊緣的兩個豎直線圈(222)的上下兩端部。

4.根據權利要求1、2或3所述的一種空間六自由度磁懸浮隔振平臺，其特征在于：上板(11)的底面與下板(12)的頂面均開設有四個矩形凹槽(19)，四個上永磁體陣列(14)對應安裝在上板(11)的四個矩形凹槽(19)內，四個下永磁體陣列(15)對應安裝在下板(12)的四個矩形凹槽(19)內。

5.根據權利要求1、2或3所述的一種空間六自由度磁懸浮隔振平臺，其特征在于：PSD位移傳感器(16)的數量為三個。

6.根據權利要求5所述的一種空間六自由度磁懸浮隔振平臺，其特征在于：加速度傳感器(17)的數量為六個。

7.根據權利要求6所述的一種空間六自由度磁懸浮隔振平臺，其特征在于：連接筒(13)的橫截面呈矩形，連接筒(13)的每個內側壁上均安裝有一個加速度傳感器(17)。

8.根據權利要求1、2、3、6或7所述的一種空間六自由度磁懸浮隔振平臺，其特征在于：上板(11)與下板(12)均為八邊形結構。