[發明專利]一種過渡金屬硫化物大面積連續薄膜覆蓋率的檢測方法

在審

• 申請號: 202010783266.3
• 申請日: 2020-08-06
• 公開（公告）號: CN111896521A
• 公開（公告）日: 2020-11-06
• 發明（設計）人: 張穎;蘭飛飛;楊丹丹;王軍山
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十六研究所
• 主分類號: G01N21/65
• 分類號: G01N21/65;G01N21/84
• 代理公司: 天津中環專利商標代理有限公司 12105
• 代理人: 胡京生

1.一種過渡金屬硫化物大面積連續薄膜覆蓋率的檢測方法，采用微分干涉顯微鏡和配置LabSpec測試軟件的拉曼光譜儀，其特征在于：檢測步驟為，

一、明確大面積連續膜的檢測區域，區域為已確定邊長的方形區域或已確定半徑的圓形區域；

二、用微分干涉顯微鏡在方形或圓形區域邊緣的圓圈標識處對薄膜的連續性進行初步判定，若區域內絕大部分為連續薄膜，則進行下一步，若不連續薄膜區域較大，則重新選定檢測區域；

三、使用拉曼光譜儀對連續膜進行面掃描，激光器的光源波長選取325nm、488nm或514.5nm，顯微鏡選取10×或50×，波數檢測范圍為100~1000cm^-1，

1）、用Si材料對設備進行校準，使拉曼光譜的特征峰值位于520.7cm^-1，將激光光斑移動到檢測平臺的中心位置，將此處規定為檢測平臺的原點，

2）、將樣品放置于檢測平臺上，使樣品的中心位置與檢測區域的原點重合，將激光模式轉換至光學模式，選定顯微鏡的放大倍數，聚焦樣品表面，直至看到清晰的薄膜形貌，轉換回激光模式，

3）、在拉曼光譜儀中選定圓形或方形測試區域，設定掃描區域的坐標和光斑移動步長，讀取總區域面積，

4）、根據光斑移動步長確定各掃描點位置，并進行各掃描點的逐點面掃描，得到面掃描拉曼光譜，

5）、用雙線夾取每個掃描點特征峰所對應的X軸方向的坐標位置，自動計算特征峰與X坐標軸之間夾取區域的區域面積，根據區域面積生成面掃描圖像，其中，黑色區域即為無特征峰、是面積不連續的區域；

6）、根據各掃描點的不連續區域面積，計算不連續的區域的總面積，

四、總區域的面積減去各掃描點不連續區域的總面積與總區域的面積比值，即為本樣品的連續薄膜覆蓋率。