[發(fā)明專利]一種石墨烯散熱薄膜、其制備方法和應用在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010762218.6 | 申請日： | 2020-07-31 |
| 公開（公告）號： | CN112011814A | 公開（公告）日： | 2020-12-01 |
| 發(fā)明（設計）人： | 左月輝;金漢波 | 申請（專利權(quán)）人： | 南京旭羽睿材料科技有限公司 |
| 主分類號： | C25D13/02 | 分類號： | C25D13/02;C25D13/20;H01L23/373;H05K7/20 |
| 代理公司： | 南京泰普專利代理事務所(普通合伙) 32360 | 代理人： | 竇賢宇 |
| 地址： | 211100 江蘇省南京*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 石墨 散熱 薄膜 制備 方法 應用 | ||
1.一種石墨烯散熱薄膜的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：
步驟1、氧化石墨烯水溶液制備：將氧化石墨烯加入去離子水中，在超聲波作用下均勻分散，得到濃度為0.25～2g/L的氧化石墨烯懸浮液；
步驟2、清洗基材：將硅襯底作為基材，切割成預定尺寸，然后使用清洗劑去油、粗化液處理，去除基材表面的氧化物和雜質(zhì)；
步驟3、氧化石墨烯薄膜的沉積：將上述基材作為陽極與電泳儀電源相連接，并以氧化石墨烯懸浮液作為電解液，進行電泳沉積，在陽極表面形成一層深棕色膠狀物質(zhì)；
步驟4、干燥、退火處理：將上述基材放入氣氛爐中干燥，從而得到石墨烯-基材的復合薄膜；
所述粗化液處理工藝為：在非金屬基材的一側(cè)采用耐腐蝕密封膠包封，然后使用氫氟酸溶液清洗，并在鉻酐粗化液浸泡24
所述鉻酐粗化液包括：鋅粉5～10%、鉻酐4～8%、鐵氰化鉀2～4%、磷酸0.5～2%、氟化鈉1～2%、表面活性劑0.5～1%、余量為水；
所述電泳沉積工藝電壓為：40～80V；沉積時間10～15min，電極之間的相對距離為10～30cm。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨烯散熱薄膜的制備方法，其特征在于，所述氧化石墨烯需要經(jīng)過預處理，預處理方法為：將1g的天然鱗片狀石墨粉末加入到含有0.5～1g的濃硝酸鈉和45～50ml濃硫酸的混合溶液中，然后加入6～9g高錳酸鉀，并充分攪拌，然后逐漸加入過氧化氫溶液除去殘余的高錳酸鉀，稀釋、離心，將所得的氧化石墨烯用鹽酸溶液和去離子水清洗，放入氣氛爐中真空下干燥。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨烯散熱薄膜的制備方法，其特征在于，所述密封膠至少為環(huán)氧樹脂、聚氟乙烯、丁基橡膠中的一種。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨烯散熱薄膜的制備方法，其特征在于，所述干燥、退火處理為：以氮氣保護氣氛，以20～25℃/min升溫至300～350℃，保溫1～2h，然后保持爐溫以3～5℃/min下降，直至室溫。
5.一種基于權(quán)利要求1～4中任一項所述的石墨烯散熱薄膜的制備方法得到的基材-氧化石墨烯復合薄膜材料。
6.一種基于權(quán)利要求5中所述的基材-氧化石墨烯復合薄膜材料作為襯底在制備電學元件上的應用，其特征在于，在基材-氧化石墨烯復合薄膜材料的另一側(cè)通過涂膠、刻蝕制備電學元件。
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