[發明專利]一種超高壓洗凈裝置

有效

• 申請號: 202010745911.2
• 申請日: 2020-07-29
• 公開（公告）號: CN112090821B
• 公開（公告）日: 2022-08-26
• 發明（設計）人: 蔣新;陳寬政;陳國才
• 申請（專利權）人: 蘇州晶洲裝備科技有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B3/14;B08B3/10
• 代理公司: 蘇州根號專利代理事務所(普通合伙) 32276
• 代理人: 朱華慶

本發明涉及一種超高壓洗凈裝置，它包括：供給管；氣液膜管，所述氣液膜管的兩端連接所述供給管的相異部位，所述氣液膜管還具有通氣端，所述通氣端連接有二氧化碳接入管；柱塞泵，所述柱塞泵連接在所述供給管的出口，所述柱塞泵由電機驅動；過濾罐，所述過濾罐連接在所述柱塞泵的出口；排出管，所述排出管連接所述過濾罐的出液口。經過柱塞泵的加壓后，經過過濾罐過濾，清洗液以超高壓被霧化，細化了液體分子，提升小粒徑顆粒的去除率，提高產品洗凈效果。通過氣液膜管向清洗液中溶入二氧化碳，通過二氧化碳溶解于清洗液中，解離的氫離子及重碳酸離子壓制清洗液中靜電產生，從而減小了由于靜電電流導致的基板面上金屬導線或薄膜部分溶解。

技術領域

本發明屬于平板顯示器行業，涉及一種洗凈裝置，特別是涉及一種超高壓洗凈裝置，用于玻璃基板表面清洗。

背景技術

現有技術中，針對小粒徑顆粒，洗凈方式一般采用的設計有二流體、MS等，但隨著平板顯示器產品的升級，對其制造工藝要求更高，需要清除更小粒徑顆粒，原有技術無法有效提升產品良率。

發明內容

本發明的目的是要提供一種超高壓洗凈裝置，可去除被清洗物表面更小粒徑的顆粒。

為達到上述目的，本發明采用的技術方案是：

本發明提供了一種超高壓洗凈裝置，它包括：

供給管；

氣液膜管，所述氣液膜管的兩端連接所述供給管的相異部位，所述氣液膜管還具有通氣端，所述通氣端連接有二氧化碳接入管；

柱塞泵，所述柱塞泵連接在所述供給管的出口，所述柱塞泵由電機驅動；

過濾罐，所述過濾罐連接在所述柱塞泵的出口；

排出管，所述排出管連接所述過濾罐的出液口。

優選地，所述相異部位之間設置有流量調節閥。

優選地，所述柱塞泵的泵出壓力為可調節設置。

進一步地，所述柱塞泵的泵出壓力可調整范圍為100kg/cm2~150kg/cm2。

優選地，所述過濾罐設置有兩個，且為串聯設置。

優選地，所述供給管上還設置有電導度計，所述電導度計位于所述氣液膜管所連接位置的下游。

優選地，所述過濾罐上設置有濾罐排氣管。

由于上述技術方案運用，本發明與現有技術相比具有下列優點：

本發明的超高壓洗凈裝置，通過供給管向柱塞泵供給清洗液（比如純水），經過柱塞泵的加壓后，通過過濾罐過濾，清洗液以超高壓被霧化，細化了液體分子，提升小粒徑顆粒的去除率，提高產品洗凈效果。通過氣液膜管向清洗液中溶入二氧化碳，通過二氧化碳溶解于清洗液中，解離的氫離子及重碳酸離子壓制清洗液中靜電產生，從而減小了由于靜電電流導致的基板面上金屬導線或薄膜部分溶解。

附圖說明

后文將參照附圖以示例性而非限制性的方式詳細描述本發明的一些具體實施例。附圖中相同的附圖標記標示了相同或類似的部件或部分。本領域技術人員應該理解，這些附圖未必是按比例繪制的。附圖中：

圖1是根據本發明優選實施例的超高壓洗凈裝置的示意性透視圖；

圖2是柱塞泵吸入管路的結構示意圖；

圖3是柱塞泵吐出口管路的結構示意圖；

其中，附圖標記說明如下：

1、供給管；

2、氣液膜管；

3、柱塞泵；

4、電機；