[發(fā)明專利]一種具有溫度補(bǔ)償特性的高性能聲表面波濾波器及制作方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010743183.1
• 申請(qǐng)日: 2020-07-29
• 公開（公告）號(hào): CN112073017A
• 公開（公告）日: 2020-12-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王紅亮;王璐瑤;張漢強(qiáng);何常德;趙利輝;洪應(yīng)平;孫曉磊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中北大學(xué)
• 主分類號(hào): H03H3/10
• 分類號(hào): H03H3/10;H03H9/25;H03H9/64;H03H9/02;H03H9/145
• 代理公司: 太原晉科知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 14110
• 代理人: 任林芳

1.一種具有溫度補(bǔ)償特性的高性能聲表面波濾波器，其特征在于：包括封裝外殼（1），所述的封裝外殼（1）內(nèi)部設(shè)有粘連芯片（3）的基座（4），基座（4）上側(cè)固定有芯片（3），所述的芯片（3）以壓電基片（33）為襯底，壓電基片（33）下側(cè)設(shè)置有用于與基座（4）固定的粘結(jié)層（34），壓電基片（33）上設(shè)置層狀金屬叉指換能器（32），層狀金屬叉指換能器（32）上制備有溫度補(bǔ)償薄膜（31），所述的層狀金屬叉指換能器（32）為若干個(gè)單端諧振器組成梯形結(jié)構(gòu)的雙端器件，所述的封裝外殼（1）的外部引腳（9）通過金線（2）和芯片（3）上預(yù)留的信號(hào)引出部分形成電氣連接，所述的芯片（3）和封裝殼體（1）之間設(shè)置有用于密封的惰性氣體。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有溫度補(bǔ)償特性的高性能聲表面波濾波器，其特征在于：所述的單端諧振器包括中間的金屬換能器（51）以及兩側(cè)的反射柵（52），金屬換能器（51）上設(shè)置有兩個(gè)電極引出部分（53），其間隔為半波長(zhǎng)的奇數(shù)倍。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有溫度補(bǔ)償特性的高性能聲表面波濾波器，其特征在于：所述的梯形結(jié)構(gòu)包括七組單端諧振器，其中四組單端諧振器為串聯(lián)形式連接，相鄰兩組串聯(lián)的單端諧振器之間并聯(lián)有一組單端諧振器，單端諧振器通過預(yù)留的電極引出部分（53）進(jìn)行連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有溫度補(bǔ)償特性的高性能聲表面波濾波器，其特征在于：所述的層狀金屬叉指換能器（32）為鉻、鋁金屬的雙層電極。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的具有溫度補(bǔ)償特性的高性能聲表面波濾波器，其特征在于：所述的壓電基片（33）為厚度0.5毫米切向?yàn)?4°YZ的鈮酸鋰基片。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的具有溫度補(bǔ)償特性的高性能聲表面波濾波器，其特征在于：所述的封裝外殼（1）為聚乙烯材料制成，封裝外殼（1）的結(jié)構(gòu)為方形。

7.一種如權(quán)利要求6所述的有溫度補(bǔ)償特性的高性能聲表面波濾波器的制備方法，其特征在于：對(duì)鈮酸鋰晶圓進(jìn)行預(yù)處理，然后基于設(shè)計(jì)的掩膜版進(jìn)行光刻工藝，在膠膜上顯現(xiàn)出與掩膜版相應(yīng)的圖形，在其上通過磁控濺射先后分別制備層狀金屬叉指換能器（32），隨后經(jīng)剝離工藝洗去光刻膠及其他金屬部分，制備好層狀金屬叉指換能器（32）后，通過PECVD的方法在層狀金屬叉指換能器（32）的選定部分沉積二氧化硅薄膜，然后對(duì)其表面進(jìn)行平坦化處理，隨后進(jìn)行劃片，得到聲表面波濾波器芯片，最后對(duì)其進(jìn)行引線鍵合和封裝得到最后樣品。