[發明專利]一種實現三個Fano共振的內嵌雙U型折射率傳感器有效
| 申請號： | 202010733371.6 | 申請日： | 2020-07-27 |
| 公開（公告）號： | CN112098366B | 公開（公告）日： | 2022-10-25 |
| 發明（設計）人： | 肖功利;徐燕萍;楊宏艷;歐澤濤;陳劍云;李海鷗;李琦;張法碧;傅濤;孫堂友;陳永和;劉興鵬 | 申請（專利權）人： | 桂林電子科技大學 |
| 主分類號： | G01N21/41 | 分類號： | G01N21/41 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 541004 廣西*** | 國省代碼： | 廣西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 實現 三個 fano 共振 內嵌雙 折射率 傳感器 | ||
1.一種實現三個Fano共振的內嵌雙U型折射率傳感器，該傳感器由一個大的倒U型諧振腔內嵌一個小的倒U型諧振腔和金屬平板組成的金屬-電介質-金屬(MIM)波導組成，其中波導由輸入端波導和輸出端波導兩部分組成，輸入端波導和輸出端波導在一條直線上，中間通過金屬板隔開，輸入端波導和輸出端波導之間的耦合距離為a＝15nm；大的倒U型諧振腔和小的倒U型諧振腔的左側兩底端對應于輸入端的波導，右側的兩底端對應于輸出端的波導，雙U型諧振腔的四個底端與波導之間通過金屬板隔開，且雙U型諧振腔的四個底端到波導的距離均為g＝10nm，大的倒U型諧振腔和小的倒U型諧振腔的半圓形頂端的圓心重合；U型諧振腔和波導的寬均為w＝50nm；當光波在波導中傳輸時耦合到兩個大小不同的倒U型諧振腔，滿足共振條件時，可以產生Fano共振，在透射譜上出現三個尖銳非對稱的共振峰，Fano共振對結構參數的變化敏感，因此通過調節小的倒U型諧振腔的內半徑r1、大的倒U型諧振腔的內半徑r3、小的倒U型諧振腔垂直臂的高度h1、大的倒U型諧振腔垂直臂的高度h2和填充介質的折射率來控制Fano共振峰的線形和諧振波長。
2.根據權利要求1所述的一種實現三個Fano共振的內嵌雙U型折射率傳感器，其特征在于：金屬平板選用銀作為材料。
3.根據權利要求1所述的一種實現三個Fano共振的內嵌雙U型折射率傳感器，其特征在于：在兩個大小不同的倒U型諧振腔中填充空氣。
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