[發(fā)明專利]一種加工藍寶石晶棒notch槽的工裝夾具結(jié)構(gòu)

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• 申請日: 2020-07-27
• 公開（公告）號: CN111843826A
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發(fā)明（設計）人: 左洪波;楊鑫宏;李鐵;周德印;豐向偉
• 申請（專利權(quán)）人: 哈爾濱秋冠光電科技有限公司
• 主分類號: B24B41/06
• 分類號: B24B41/06;B24B55/00;B24B19/02;B24B19/22
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本發(fā)明涉及一種加工成品藍寶石晶棒notch槽用的工裝夾具結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)整體由“V”型槽結(jié)構(gòu)、連桿結(jié)構(gòu)、壓條結(jié)構(gòu)及旋緊螺母結(jié)構(gòu)組成。“V”型槽結(jié)構(gòu)上設置有與螺紋孔，可以將連桿固定在“V”型槽上；連桿結(jié)構(gòu)兩端均有螺紋，一端與“V”型槽結(jié)構(gòu)連接，另一端與旋緊螺母連接；壓條結(jié)構(gòu)為長條狀，兩端有可供連桿通過的圓形通孔；旋緊螺母可將壓條結(jié)構(gòu)固定在連桿上。本發(fā)明工裝夾具結(jié)構(gòu)緊固效果好，晶棒固定好后晶向無偏差，方便后續(xù)對晶棒加工notch槽。

技術(shù)領域

本發(fā)明屬于藍寶石晶棒加工領域，具體涉及一種加工藍寶石晶棒notch槽的工裝夾具結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

藍寶石是一種氧化鋁的單晶，耐磨且抗風蝕，硬度僅次于金剛石。藍寶石晶體具有各向異性的特點，在不同的方向上晶體的性質(zhì)不同，是現(xiàn)代工業(yè)重要的基礎材料。因藍寶石獨特的晶格結(jié)構(gòu)、優(yōu)異的力學性能、良好的熱學性能，使其成為實際應用的半導體照明、大規(guī)模集成電路及超導納米結(jié)構(gòu)薄膜等理想的襯底材料。

截止目前，LED襯底材料仍是藍寶石重要的應用，據(jù)統(tǒng)計，襯底材料應用占藍寶石需求量的80%以上，非襯底材料應用占20%左右。由于藍寶石晶體中r面為非極性面，r面的位置不同會影響藍寶石器件的力學、熱學、電學以及光學性能，以及藍寶石器件后續(xù)加工的一致性和成品率。為了保證晶棒在后續(xù)加工過程中具有良好的一致性，選擇a向作為導向邊，通過a向與r向的位置保持一致來保證藍寶石晶片的一致性。傳統(tǒng)藍寶石晶棒采用平邊的方式來確定r向位置，在LED器件制作過程中，notch襯底相比較平邊襯底，晶片利用面積可增加0.57%，能夠有效提升LED襯底片的出材率。但對比平邊襯底，notch襯底在加工中存在許多技術(shù)難點，notch晶棒在加工過程中對晶向要求嚴格，要保證加工一次成功率，因此有必要研究一種藍寶石晶棒加工notch槽的夾具結(jié)構(gòu)，保證晶棒開槽時的精度。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種便于藍寶石晶棒開槽，將晶棒固定在“V”型槽上，不僅可以避免晶棒在開槽時產(chǎn)生磕崩，同時也可以保證晶棒開槽時晶向無偏差，提高晶棒開槽的質(zhì)量的加工藍寶石晶棒notch槽的工裝夾具結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的：它包括“V”型槽結(jié)構(gòu)、連桿結(jié)構(gòu)、壓條結(jié)構(gòu)及旋緊螺母結(jié)構(gòu)，“V”型槽結(jié)構(gòu)上設置有四個螺紋孔，且螺紋孔與“V”型槽的斜面垂直，將連桿固定在“V”型槽上；連桿結(jié)構(gòu)兩端均設置有螺紋，一端交叉固定在“V”型槽上，另一端與旋緊螺母連接；壓條結(jié)構(gòu)為長方形條狀，兩端設置有可供連桿通過的圓形通孔；旋緊螺母將壓條結(jié)構(gòu)固定在連桿結(jié)構(gòu)上。

本發(fā)明還有這樣一些特征：

1、所述的“V”型槽結(jié)構(gòu)長為150mm~250mm，寬為100mm~150mm，“V”型槽角度為90°~150°，底面做精磨處理，保證底端表面的粗糙度；在“V”型槽的兩個斜面處固定有橡膠墊，同時在斜面兩端各開兩個大小為M8~M16并與斜面垂直的內(nèi)螺紋孔。

2、所述的連桿結(jié)構(gòu)直徑為Φ10~Φ18mm，長45~160mm，兩端均有螺紋，大小為M8~M16，一端交叉固定在“V”型槽的斜面上，保證連桿與斜面垂直。

3、所述的壓條結(jié)構(gòu)為長方形條狀，長150mm~250mm，寬5~10mm，高4~8mm，兩端有Φ8~Φ16mm的通孔，供連桿通過；壓條結(jié)構(gòu)單面沾有橡膠墊，以更好的固定晶棒。

4、所述的旋緊螺母結(jié)構(gòu)大小為M8~M16，將壓條固定在連桿上，確保晶棒穩(wěn)定的固定在“V”型槽內(nèi)。

5、所述的“V”型槽材質(zhì)為45#鋼，保證夾具的整體強度。

6、所述的連桿結(jié)構(gòu)兩端的螺紋做淬火處理。

本發(fā)明夾具使用的過程中橡膠墊可以避免晶棒產(chǎn)生磕碰，造成崩邊等不良，提高晶棒的完整性，同時也可以增大夾具與晶棒間的摩擦力，保證晶棒無位移；“V”型槽底面做精處理，可將整個夾具結(jié)構(gòu)利用真空吸附在CNC設備的平臺上，保證晶棒開槽的精度。