[發(fā)明專利]一種多級(jí)精密配合的軸向步進(jìn)機(jī)構(gòu)的裝配方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010732666.1
• 申請(qǐng)日: 2020-07-27
• 公開（公告）號(hào): CN112032311B
• 公開（公告）日: 2022-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許明理;鄭志鵬;尹升愛;王言徐
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京精密機(jī)電控制設(shè)備研究所
• 主分類號(hào): F16K1/00
• 分類號(hào): F16K1/00;F16K1/38;F16K1/48;F16K25/00;F16K27/02;F16K27/08;F16K31/04;F16K31/50;F16K37/00;F16K41/02
• 代理公司: 中國(guó)航天科技專利中心 11009
• 代理人: 劉秀祥

1.一種多級(jí)精密配合的軸向步進(jìn)機(jī)構(gòu)的裝配方法，其特征在于，包括如下步驟：

S1、步進(jìn)連桿上設(shè)有凸出的螺桿，閥芯上設(shè)有螺紋孔，將閥芯與步進(jìn)連桿通過(guò)螺紋連接，閥芯的端面與步進(jìn)連桿的端面之間留有間隙；

S2、將裝配好的閥芯與步進(jìn)連桿作為一個(gè)整體，插入在導(dǎo)程支座內(nèi)，然后將導(dǎo)程支座置于在導(dǎo)程端蓋上；

S3、利用塞規(guī)單片測(cè)量導(dǎo)程支座與導(dǎo)程端蓋之間的間隙，采用墊片進(jìn)行補(bǔ)償，最后將導(dǎo)程支座與導(dǎo)程端蓋連接；

S4、將絲桿螺母與步進(jìn)連桿連接，將絲桿穿過(guò)絲桿螺母；在伺服電機(jī)輸出軸的端面上安裝調(diào)整螺絲，在聯(lián)軸器內(nèi)安裝推力桿；利用聯(lián)軸器連接伺服電機(jī)和絲桿；將伺服電機(jī)安裝在電機(jī)固定支座上，將電機(jī)固定支座安裝在導(dǎo)程端蓋上；

S5、調(diào)整調(diào)整螺絲的伸出長(zhǎng)度，使調(diào)整螺絲與推力桿之間、推力桿與絲桿端面之間均始終保持緊密貼合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多級(jí)精密配合的軸向步進(jìn)機(jī)構(gòu)的裝配方法，其特征在于，導(dǎo)程端蓋上設(shè)有螺紋孔，S3中導(dǎo)程支座通過(guò)多個(gè)螺栓與導(dǎo)程端蓋連接，采用墊片對(duì)導(dǎo)程端蓋上螺紋孔處的間隙進(jìn)行補(bǔ)償。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多級(jí)精密配合的軸向步進(jìn)機(jī)構(gòu)的裝配方法，其特征在于，S1中，閥芯的端面與步進(jìn)連桿的端面之間留有0.2～0.5mm間隙。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多級(jí)精密配合的軸向步進(jìn)機(jī)構(gòu)的裝配方法，其特征在于，S2中，將裝配好的閥芯與步進(jìn)連桿作為一個(gè)整體，插入在導(dǎo)程支座內(nèi)，步進(jìn)連桿與導(dǎo)程支座為間隙配合，間隙值為0μm～20μm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多級(jí)精密配合的軸向步進(jìn)機(jī)構(gòu)的裝配方法，其特征在于，導(dǎo)程端蓋內(nèi)靠近步進(jìn)連桿導(dǎo)程支座固定的一端設(shè)有排氣孔，用于使導(dǎo)程端蓋的內(nèi)部與外部連通。

6.根據(jù)權(quán)利要求1～5之一所述的一種多級(jí)精密配合的軸向步進(jìn)機(jī)構(gòu)的裝配方法，其特征在于，S2中首先將拉桿封、氣動(dòng)防塵拉桿封裝入導(dǎo)程端蓋內(nèi)，然后將導(dǎo)程支座置于在導(dǎo)程端蓋上，閥芯穿過(guò)拉桿封和氣動(dòng)防塵拉桿封。

7.一種高精度氣體質(zhì)量流量控制閥的裝配方法，其特征在于，采用權(quán)利要求6所述的裝配方法，完成軸向步進(jìn)機(jī)構(gòu)的裝配，還包括如下步驟：

S11、將閥芯支座裝入閥體內(nèi)，然后將導(dǎo)程端蓋安裝在閥體上；

S12、將出氣口法蘭和進(jìn)氣口法蘭均安裝在閥體上；

S13、將壓力傳感器與進(jìn)氣口法蘭連接，將質(zhì)量流量計(jì)與壓力傳感器連接。

8.一種高精度氣體質(zhì)量流量控制閥，其特征在于，采用權(quán)利要求7的裝配方法進(jìn)行裝配，包括質(zhì)量流量計(jì)、壓力傳感器、進(jìn)氣口法蘭、閥體流量控制結(jié)構(gòu)、閥芯傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、出氣口法蘭；

進(jìn)氣口法蘭的兩端分別與壓力傳感器和閥體流量控制結(jié)構(gòu)連接，閥芯傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和出氣口法蘭均安裝在閥體流量控制結(jié)構(gòu)上；外部氣體依次經(jīng)質(zhì)量流量計(jì)、壓力傳感器、進(jìn)氣口法蘭進(jìn)入閥體流量控制結(jié)構(gòu)，然后從出氣口法蘭流出控制閥；

閥體流量控制結(jié)構(gòu)包括閥體、閥芯支座、導(dǎo)程端蓋；閥芯、閥芯支座、導(dǎo)程端蓋均安裝在閥體內(nèi)；閥芯傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括伺服電機(jī)、電機(jī)固定支座、聯(lián)軸器、絲桿、絲桿螺母、步進(jìn)連桿、步進(jìn)連桿導(dǎo)程支座、閥芯；

閥芯穿過(guò)導(dǎo)程端蓋后插入閥芯支座，用于完成流量控制；

伺服電機(jī)安裝在電機(jī)固定支座上，步進(jìn)連桿安裝在步進(jìn)連桿導(dǎo)程支座上，步進(jìn)連桿導(dǎo)程支座安裝在導(dǎo)程端蓋上，導(dǎo)程端蓋和電機(jī)固定支座均安裝在閥體上；伺服電機(jī)通過(guò)聯(lián)軸器與絲桿連接，絲桿穿過(guò)絲桿螺母，絲桿螺母與步進(jìn)連桿連接，步進(jìn)連桿與閥芯連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種高精度氣體質(zhì)量流量控制閥，其特征在于，進(jìn)出氣口法蘭與閥體之間采用O形圈密封，閥體表面粗糙度不大于1.6μm，O型圈壓縮量為自身直徑的10％～15％。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種高精度氣體質(zhì)量流量控制閥，其特征在于，閥芯與閥芯支座通過(guò)錐面配合完成緊密貼合，錐面的粗糙度不大于0.8μm；閥芯支座采用聚酯纖維材料制成。