[發明專利]存水裝置及廢氣處理系統

有效

• 申請號: 202010730709.2
• 申請日: 2020-07-27
• 公開（公告）號: CN113996130B
• 公開（公告）日: 2022-06-24
• 發明（設計）人: 侯小明星;林逸民
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: B01D47/06
• 分類號: B01D47/06;B01D35/027;B08B3/02
• 代理公司: 上海晨皓知識產權代理事務所(普通合伙) 31260
• 代理人: 成麗杰

1.一種存水裝置，其特征在于，包括：

蓄水腔和進水口，所述進水口用于向所述蓄水腔內送入溶液，所述蓄水腔用于存蓄或排出所述溶液，所述蓄水腔內具有粘性物質；

導桿和可沿所述導桿移動的浮動裝置，所述浮動裝置可隨所述蓄水腔內的水位變化移動，移動至所述導桿和所述浮動裝置之間的所述粘性物質可阻礙所述浮動裝置移動；

水幕套殼，所述水幕套殼與所述進水口連通，所述水幕套殼用于分流部分由所述進水口送入的所述溶液，所述水幕套殼分流的溶液用于沖洗位于所述導桿和所述浮動裝置之間的所述粘性物質。

2.根據權利要求1所述的存水裝置，其特征在于，還包括：第一區域和第二區域，所述水幕套殼包括第一套殼和第二套殼，所述第一套殼分流的溶液用于沖洗所述第一區域內的位于所述導桿和所述浮動裝置之間的所述粘性物質，所述第二套殼分流的溶液用于沖洗所述第二區域內的位于所述導桿和所述浮動裝置之間的所述粘性物質。

3.根據權利要求2所述的存水裝置，其特征在于，所述蓄水腔具有低水位線和高水位線，所述第一區域包括所述高水位線，所述第二區域包括所述低水位線，所述浮動裝置包括第一浮動裝置和第二浮動裝置，所述第一浮動裝置在所述第一區域內移動，所述第二浮動裝置在所述第二區域內移動。

4.根據權利要求3所述的存水裝置，其特征在于，還包括：警示模塊，所述警示模塊用于在所述浮動裝置處于所述低水位線或所述高水位線時，發出警示信息。

5.根據權利要求1所述的存水裝置，其特征在于，從所述水幕套殼內流出的所述溶液沿重力方向流動。

6.根據權利要求1所述的存水裝置，其特征在于，所述水幕套殼套設于所述導桿與所述浮動裝置之間，所述浮動裝置沿所述水幕套殼移動，所述水幕套殼分流的溶液用于沖洗粘附于所述水幕套殼上的所述粘性物質。

7.根據權利要求5或6所述的存水裝置，其特征在于，所述水幕套殼包括固定套殼和環繞套殼，所述固定套殼用于固定在所述導桿上，所述環繞套殼環繞于所述固定套殼，所述固定套殼和所述環繞套殼之間具有第一間隙，所述溶液通過所述第一間隙流出并對粘附在所述水幕套殼上的所述粘性物質進行沖洗；所述導桿固定于所述固定套殼內，所述水幕套殼相對于所述導桿可拆卸。

8.根據權利要求6所述的存水裝置，其特征在于，在垂直于所述水幕套殼側壁的方向上，所述水幕套殼與所述浮動裝置之間具有第二間隙，所述第二間隙的寬度范圍為0.5mm～1.5mm。

9.根據權利要求7所述的存水裝置，其特征在于，在垂直于所述水幕套殼側壁的方向上，所述第一間隙的寬度范圍為2mm～4mm。

10.根據權利要求1所述的存水裝置，其特征在于，所述蓄水腔具有出水口與彼此連通的第一腔室和第二腔室，所述導桿位于所述第一腔室內，所述出水口與所述第二腔室連通，所述進水口用于向所述第一腔室內送入包含所述粘性物質的所述溶液，所述出水口用于排出所述溶液；還包括：隔離板和濾網，所述隔離板隔離所述第一腔室和所述第二腔室，所述濾網用于過濾所述粘性物質。

11.根據權利要求10所述的存水裝置，其特征在于，所述蓄水腔包括連通所述第一腔室和所述第二腔室的連通口，所述連通口位于所述蓄水腔底部。

12.一種廢氣處理系統，其特征在于，包括：

至少一臺如權利要求1至11中任一項所述的存水裝置；

廢氣反應腔室，所述廢氣反應腔室與所述存水裝置連通，所述存水裝置用于存儲沖洗所述廢氣反應腔室的制程副產物的溶液，所述溶液可循環使用。