[發明專利]保持一致性的光學鄰近校正方法和使用其制造掩模的方法

在審

• 申請號: 202010716289.2
• 申請日: 2020-07-23
• 公開（公告）號: CN112668272A
• 公開（公告）日: 2021-04-16
• 發明（設計）人: 吳興錫;金周炳;金相勛;金局炫
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: G06F30/392
• 分類號: G06F30/392;G03F7/20;G03F1/36
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 邵亞麗

1.一種包括程序代碼的非暫時性計算機可讀介質，所述程序代碼在由至少一個處理電路運行時，使所述至少一個處理電路執行以下操作：

將半導體芯片的布局劃分成多個片區；

從所劃分的多個片區中的每個片區的布局生成多個分段，其中，所述多個片區中的第一片區包括第一分段，并且所述多個片區中的第二片區包括第二分段；

計算對應于第一分段的哈希值和對應于第二分段的哈希值，通過使用哈希函數計算哈希值；

計算具有第一哈希值的第一分段的子集的偏置值；

基于偏置值計算代表值；以及

將代表值應用于第一分段的哈希值當中具有第一哈希值的分段的子集，

其中，所述哈希函數取決于所述多個分段中的每個分段的第一特性值、與所述每個分段相鄰的至少一個分段的第二特性值、或所述每個分段與所述至少一個分段之間的第三特性值中的至少一個。

2.根據權利要求1所述的計算機可讀介質，其中，所述代表值基于均數、中數或眾數中的至少一個，均數、中數和眾數基于具有第一哈希值的分段的偏置值。

3.根據權利要求1所述的計算機可讀介質，其中，所述程序代碼在由至少一個處理電路運行時，還使所述至少一個處理電路：

更新庫中的代表值。

4.根據權利要求1所述的計算機可讀介質，其中，所述程序代碼在由至少一個處理電路運行時，還使所述至少一個處理電路：

計算第一分段的哈希值當中具有另一哈希值的另一分段的偏置值，所述另一哈希值與第一分段的哈希值當中的任何其他哈希值不匹配。

5.根據權利要求4所述的計算機可讀介質，其中，所述程序代碼在由至少一個處理電路執行時，還使所述至少一個處理電路：

更新庫中所述另一分段的偏置值。

6.根據權利要求1所述的計算機可讀介質，其中，所述程序代碼在由至少一個處理電路運行時，還使所述至少一個處理電路：

將所述代表值應用于第二分段當中具有第一哈希值的分段。

7.根據權利要求1所述的計算機可讀介質，其中，以下至少之一：

(a)第一特性值包括所述每個分段的長度或偏置方向中的至少一個，

(b)第二特性值包括所述至少一個分段的長度，或者

(c)第三特性值包括所述每個分段和所述至少一個分段之間的距離。

8.根據權利要求7所述的計算機可讀介質，其中，響應于所述每個分段在第一方向和第二方向上延伸的長度，

所述哈希函數獨立地基于每個分段在第一方向上的長度的分量和每個分段在第二方向上的長度的分量中的每一個。

9.根據權利要求7所述的計算機可讀介質，其中，響應于所述至少一個分段的在第一方向和第二方向上延伸的長度，

所述哈希函數獨立地基于所述至少一個分段在第一方向上的分量和所述至少一個分段在第二方向上的分量中的每一個。

10.根據權利要求7所述的計算機可讀介質，其中，當計算所述每個分段的偏置值時，所述偏置方向指示將以網格為單位模擬的順序。

11.一種包括非暫時性程序代碼的計算機可讀介質，所述非暫時性程序代碼在由至少一個處理電路運行時，使所述至少一個處理電路執行以下操作：

從半導體器件的布局生成多個分段；

通過使用哈希函數來計算所述多個分段中每個分段的哈希值，所述哈希函數取決于所述每個分段的第一特性值、與所述每個分段相鄰的至少一個分段的第二特性值、或所述每個分段與所述至少一個分段之間的第三特性值中的至少一個；

分別計算關于多個分段的偏置值；

基于多個分段的子集的偏置值計算代表值，所述多個分段的子集具有所計算的哈希值當中的相同哈希值；以及

將代表值應用于具有相同哈希值的多個分段。