[發明專利]一種金剛石線硅片切割廢料高值化再生利用的方法

在審

• 申請號: 202010704101.2
• 申請日: 2020-07-21
• 公開（公告）號: CN111777070A
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發明（設計）人: 魏奎先;馬文會;楊時聰;伍繼君;萬小涵;李紹元
• 申請（專利權）人: 昆明理工大學
• 主分類號: C01B33/021
• 分類號: C01B33/021;C30B28/04;C30B29/06
• 代理公司: 天津煜博知識產權代理事務所(普通合伙) 12246
• 代理人: 朱維

1.一種金剛石線硅片切割廢料高值化再生利用的方法，其特征在于，具體步驟如下：

(1)將金剛石線硅片切割廢料壓濾的濾餅進行干燥、破碎、分級、研磨得到硅微細粒粉料；

(2)將硅微細粒粉料加入到酸性浸出體系中進行酸性浸出，液固分離，洗滌固體得到高純硅粉；

(3)將高純硅粉進行控氧干燥得到純度大于5N的再生硅粉；

(4)將再生硅粉與多晶硅鑄錠爐料摻兌并制粒得到5N級高純硅精制爐料，將5N級高純硅精制爐料加入到鑄錠爐內進行定向凝固提純得到6N高純硅；

(5)6N高純硅或6N高純硅與多晶硅進行兌摻的混合料加入到鑄錠爐內，經晶體生長得到多晶硅錠；其中多晶硅為西門子法多晶硅和/或多晶硅鑄錠邊皮料。

2.根據權利要求1所述金剛石線硅片切割廢料高值化再生利用的方法，其特征在于：硅微細粒粉料的粒度不大于50μm，以質量百分數計，含水量為1～8％。

3.根據權利要求1所述金剛石線硅片切割廢料高值化再生利用的方法，其特征在于：酸性浸出體系為H₂SO₄、HNO₃、HCl、HF的一種或多種混合體系，酸性浸出體系中H⁺濃度為0.5～8mol/L，酸性浸出溫度為40～80℃，浸出時間0.1～6h，酸性浸出體系與硅微細粒粉料的液固比mL:g為3-20:1。

4.根據權利要求1所述金剛石線硅片切割廢料高值化再生利用的方法，其特征在于：酸性浸出為攪拌浸出，攪拌方式為機械、電磁或超聲。

5.根據權利要求1所述金剛石線硅片切割廢料高值化再生利用的方法，其特征在于：5N級高純硅精制爐料的粒度為0.2-2cm，球形度70％，抗爆率80％。

6.根據權利要求1所述金剛石線硅片切割廢料高值化再生利用的方法，其特征在于：再生硅粉與多晶硅鑄錠爐料的質量比為0.1-0.5:1。

7.根據權利要求1或6所述金剛石線硅片切割廢料高值化再生利用的方法，其特征在于：以6N高純硅與多晶硅進行兌摻的混合料的質量為100％計，6N高純硅的兌摻比例為10-80％。