[發明專利]一種高精度隧道式加速度計及其制備方法有效
| 申請號： | 202010702434.1 | 申請日： | 2020-07-17 |
| 公開（公告）號： | CN112034203B | 公開（公告）日： | 2022-02-11 |
| 發明（設計）人： | 張威;廖建輝;趙曉東 | 申請（專利權）人： | 北京大學 |
| 主分類號： | G01P15/08 | 分類號： | G01P15/08;G01P15/13 |
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| 地址： | 100871*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 高精度 隧道 加速度計 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種高精度隧道式加速度計，包括玻璃襯底、硅片和石墨烯，玻璃襯底和硅通過陽極鍵合連接，其中在硅片上有反饋電極、質量塊和隧道結，反饋電極位于質量塊左側，質量塊與彈簧固定連接，隧道結位于質量塊右側，通過對石墨烯圖形化，以施加電流的方式，使石墨烯內原子發生電遷移，最終使石墨烯中心位置發生斷裂，形成納米級隧道間隙。
2.權利要求1所述的高精度隧道式加速度計的制備方法，依次包括以下步驟：
(1)選用7740玻璃作為襯底；
(2)在硅片背面光刻刻蝕限位槽，高度為1μm，確保質量塊處于自由可移動狀態；
(3)陽極鍵合，將玻璃襯底與硅片背面進行對準和粘合；
(4)將硅片KOH減薄至2至60μm；
(5)繼續在硅片正面標記位置刻蝕淺槽，并濺射金屬腐蝕形成反饋電極和隧道電流發射電極；
(6)在硅片正面深度刻蝕，并刻穿硅片，生成可自由移動的彈簧和質量塊；
(7)劃片后，在兩個隧道電流發射電極上集成石墨烯，通過施加電壓，進行電致燃燒，在其中心位置形成隧道結。
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