[發明專利]DBC基板、DBC基板制造方法及功率模塊在審
| 申請號: | 202010686959.0 | 申請日: | 2020-07-16 |
| 公開(公告)號: | CN111933600A | 公開(公告)日: | 2020-11-13 |
| 發明(設計)人: | 曹周 | 申請(專利權)人: | 杰群電子科技(東莞)有限公司 |
| 主分類號: | H01L23/473 | 分類號: | H01L23/473;H01L23/373;H01L23/498;H01L21/48 |
| 代理公司: | 北京澤方譽航專利代理事務所(普通合伙) 11884 | 代理人: | 陳照輝 |
| 地址: | 523000 廣東省東莞*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | dbc 基板 制造 方法 功率 模塊 | ||
1.一種DBC基板(100),其特征在于,包括:
陶瓷層(120);
上銅層(110),其與所述陶瓷層(120)的頂部結合;
金屬散熱層(130),其與所述陶瓷層(120)的底部結合;所述金屬散熱層(130)設有空腔(140),還設有與所述空腔(140)連通的介質進口(151)和介質出口(152);所述空腔(140)用于給冷卻介質提供過流空間;所述空腔(140)內設有相對所述腔壁凸出的擾流結構(160)。
2.根據權利要求1所述的DBC基板(100),其特征在于,所述介質進口(151)和所述介質出口(152)分別位于所述DBC基板(100)水平方向上的兩端;由所述介質進口(151)往所述介質出口(152)的方向上,間隔地設有若干所述擾流結構(160),若干所述擾流結構(160)設于所述空腔(140)的頂部腔壁和/或所述空腔(140)的底部腔壁。
3.根據權利要求2所述的DBC基板(100),其特征在于,包括基板本體和金屬蓋板(132);所述基板本體包括所述上銅層(110)、所述陶瓷層(120)和下銅層(131);所述散熱金屬層包括所述下銅層(131)和所述金屬蓋板(132);所述下銅層(131)固設于所述陶瓷層(120)的底面;所述下銅層(131)的底部和/或所述金屬蓋板(132)的頂部設有凹槽,所述金屬蓋板(132)的頂部通過焊材層(600)焊接固定于所述下銅層(131)的底部,以封蓋所述凹槽,以在所述金屬蓋板(132)與所述下銅層(131)之間夾合形成所述空腔(140)。
4.根據權利要求3所述的DBC基板(100),其特征在于,所述下銅層(131)的底面設有若干上部擾流結構(161),所述金屬蓋板(132)的頂面設有若干下部擾流結構(162)。
5.根據權利要求4所述的DBC基板(100),其特征在于,所述上部擾流結構(161)和所述下部擾流結構(162)在水平方向上相錯設置;所述空腔(140)的高度為X,所述上部擾流結構(161)和所述下部擾流結構(162)的高度均大于0.5X。
6.根據權利要求3所述的DBC基板(100),其特征在于,所述介質進口(151)和所述介質出口(152)分別設于所述金屬蓋板(132)的呈中心對稱的兩個角部上。
7.根據權利要求1所述的DBC基板(100),其特征在于,所述金屬蓋板(132)為銅蓋板。
8.一種DBC基板的制造方法,其特征在于,包括以下步驟:
基板本體準備步驟:準備基板本體,所述基板本體包括上銅片、陶瓷層(120)和下銅片,所述上銅片固設于所述陶瓷層(120)的頂部,所述下銅片固設于所述陶瓷層(120)的底部;
金屬蓋板(132)準備步驟:準備金屬蓋板(132);
凹槽加工步驟:在所述金屬蓋板(132)加工出凹槽;
金屬蓋板(132)焊接步驟:采用焊接結合材料將所述金屬蓋板(132)的頂部固定于所述下銅片的底部;所述凹槽與所述下銅片圍成空腔(140);所述下銅片與所述金屬蓋板(132)結合形成金屬散熱體;
開口加工步驟,在所述金屬散熱體上加工用于與所述空腔(140)連通的介質開口、介質出口(152);
擾流結構(160)加工步驟:在所述凹槽的槽壁上加工形成相對凸出的擾流結構(160),和/或在所述下銅片的底部加工形成相對凸出的擾流結構(160)。
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