[發(fā)明專利]一種金屬輥狀模具的制備方法

在審

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• 申請日: 2020-07-08
• 公開（公告）號: CN111679555A
• 公開（公告）日: 2020-09-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 易偉華;張迅;劉明禮;孫如;侯大剛
• 申請（專利權(quán)）人: 江西沃格光電股份有限公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 李曉光

1.一種金屬輥狀模具的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括：

提供一待處理金屬輥；

在所述待處理金屬輥上涂覆光刻膠；

控制曝光光源、掩膜板和所述待處理金屬輥的空間位置狀態(tài)，對所述光刻膠進(jìn)行曝光處理；

進(jìn)行顯影操作，形成具有預(yù)設(shè)紋理圖案的光刻膠模型；

依據(jù)所述光刻膠模型，對所述待處理金屬輥進(jìn)行蝕刻處理。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述光刻膠為正性光刻膠或負(fù)性光刻膠。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，在所述待處理金屬輥上涂覆光刻膠之后，所述制備方法還包括：

對所述光刻膠進(jìn)行烘烤處理。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述控制曝光光源、掩膜板和所述待處理金屬輥的空間位置狀態(tài)，對所述光刻膠進(jìn)行曝光處理，包括：

控制所述曝光光源的空間位置固定不變；

控制所述掩膜板進(jìn)行水平移動；

控制所述待處理金屬輥的空間位置固定不變，且控制所述待處理金屬輥以中心軸進(jìn)行圓周運動。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制備方法，其特征在于，所述掩膜板勻速進(jìn)行水平移動，且速度與所述待處理金屬輥旋轉(zhuǎn)的線速度相同。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述控制曝光光源、掩膜板和所述待處理金屬輥的空間位置狀態(tài)，對所述光刻膠進(jìn)行曝光處理，包括：

控制所述掩膜板的空間位置固定不變；

控制所述曝光光源和所述待處理金屬輥，沿著相同的方向進(jìn)行水平移動；

在所述待處理金屬輥的水平移動過程中，控制所述待處理金屬輥以中心軸進(jìn)行圓周運動。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制備方法，其特征在于，所述曝光光源和所述待處理金屬輥均以勻速進(jìn)行水平移動，且速度相同；

所述待處理金屬輥旋轉(zhuǎn)的線速度與所述待處理金屬輥的水平移動速度相同。

8.根據(jù)權(quán)利要求5或7所述的制備方法，其特征在于，所述待處理金屬輥旋轉(zhuǎn)的線速度為所述待處理金屬輥上光刻膠的表面線速度。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制備方法，其特征在于，所述待處理金屬輥旋轉(zhuǎn)的線速度為所述待處理金屬輥半徑和所述光刻膠厚度之和，與預(yù)設(shè)角速度的乘積。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述制備方法還包括：

去除所述光刻膠模型。