[發明專利]一種基于SNAP結構回音壁微腔探針式測量裝置

在審

• 申請號: 202010645892.6
• 申請日: 2020-07-07
• 公開（公告）號: CN111982466A
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發明（設計）人: 董永超;陳劍;趙澤政;孫鵬輝;王晗
• 申請（專利權）人: 廣東工業大學
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02;G01M11/04
• 代理公司: 廣東廣信君達律師事務所 44329
• 代理人: 余勝茂

1.一種基于SNAP結構回音壁微腔探針式測量裝置，其特征在于，包括基板、SNAP結構回音壁微腔、耦合波導、探頭、回彈裝置和蓋板，所述基板的表面開有相互垂直且軸線不相交的橫向微溝槽和豎向微溝槽，所述耦合波導套設于橫向微溝槽，SNAP結構回音壁微腔可滑動套設于豎向微溝槽內；所述探頭的一端與基板固定連接，所述探頭的一端內開有凹槽，且探頭的另一端開有與凹槽連通的通孔；所述回彈裝置設于凹槽內，SNAP結構回音壁微腔與耦合波導接觸，且SNAP結構回音壁微腔穿過通孔；回彈裝置與SNAP結構回音壁微腔連接而將SNAP結構回音壁微腔的一端拉向通孔；所述蓋板蓋合橫向微溝槽和豎向微溝槽而將耦合波導和SNAP結構回音壁微腔封裝在橫向微溝槽和豎向微溝槽內。

2.根據權利要求1所述的一種基于SNAP結構回音壁微腔探針式測量裝置，其特征在于，所述基板和耦合波導上均開有卡槽，所述卡槽內設有卡塊而將耦合波導固定在基板上；所述卡塊的表面與基板的表面共面。

3.根據權利要求1所述的一種基于SNAP結構回音壁微腔探針式測量裝置，其特征在于，所述豎向微溝槽內設有用于防止SNAP結構回音壁微腔剛性碰撞的保護裝置。

4.根據權利要求1或2所述的一種基于SNAP結構回音壁微腔探針式測量裝置，其特征在于，所述耦合波導為微納錐形光纖，或集成光波導，或光纖光柵。

5.根據權利要求1所述的一種基于SNAP結構回音壁微腔探針式測量裝置，其特征在于，所述回彈裝置為彈簧或撥片。

6.根據權利要求1或5所述的一種基于SNAP結構回音壁微腔探針式測量裝置，其特征在于，所述回彈裝置上設有阻尼器。

7.根據權利要求1所述的一種基于SNAP結構回音壁微腔探針式測量裝置，其特征在于，所述SNAP結構回音壁微腔和耦合波導為圓柱體，且SNAP結構回音壁微腔和耦合波導的中心軸線分別與豎向微溝槽和橫向微溝槽同軸。

8.根據權利要求3所述的一種基于SNAP結構回音壁微腔探針式測量裝置，其特征在于，所述保護裝置為彈性件。

9.根據權利要求1所述的一種基于SNAP結構回音壁微腔探針式測量裝置，其特征在于，所述蓋板通過連接件固定連接于基板上。