[發(fā)明專利]一種檢測(cè)化學(xué)過(guò)濾器的去除效率的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010639369.2
• 申請(qǐng)日: 2020-07-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111665190B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-04-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊政諭
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 亞翔系統(tǒng)集成科技（蘇州）股份有限公司
• 主分類號(hào): G01N17/02
• 分類號(hào): G01N17/02
• 代理公司: 蘇州翔遠(yuǎn)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32251
• 代理人: 陸金星

本發(fā)明公開(kāi)了一種檢測(cè)化學(xué)過(guò)濾器的去除效率的方法，包括如下步驟：(1)選擇待測(cè)化學(xué)過(guò)濾器，針對(duì)污染物，選擇適用的腐蝕試片和檢測(cè)機(jī)構(gòu)，測(cè)量累積污染物濃度與腐蝕試片的電壓變化關(guān)系的標(biāo)準(zhǔn)曲線；(2)測(cè)量累積污染物濃度與待測(cè)化學(xué)過(guò)濾器的去除效率關(guān)系的標(biāo)準(zhǔn)曲線；(3)計(jì)算出檢測(cè)機(jī)構(gòu)中腐蝕試片的電壓變化和待測(cè)化學(xué)過(guò)濾器的去除效率的關(guān)系曲線；(4)根據(jù)不同潔凈場(chǎng)合的要求確定待測(cè)化學(xué)過(guò)濾器的去除效率值之后，從步驟(3)的關(guān)系曲線得到電壓變化量，將此電壓變化量作為所述待測(cè)化學(xué)過(guò)濾器使用壽命的報(bào)警值。本發(fā)明開(kāi)發(fā)了一種真正意義上的針對(duì)化學(xué)過(guò)濾器去除效率的檢測(cè)方法，可以任意選擇不同的去除效率，滿足任意場(chǎng)合的檢測(cè)要求。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及潔凈生產(chǎn)領(lǐng)域，具體涉及一種化學(xué)過(guò)濾器的去除效率的在線檢測(cè)方法。

背景技術(shù)

化學(xué)過(guò)濾器在目前高性能平板顯示器和半導(dǎo)體IC的制作生產(chǎn)過(guò)程中不可缺少，安裝化學(xué)過(guò)濾器的目的是去除生產(chǎn)環(huán)境中對(duì)生產(chǎn)不利的化學(xué)氣氛(如氯離子、硫化物、VOC、氨氣等等)。半導(dǎo)體制造工序及精密產(chǎn)品或電子產(chǎn)品制造工序等，一般在排除了污染物質(zhì)的清潔室(潔凈室)內(nèi)進(jìn)行，因此，該清潔室內(nèi)的污染程度是與被制造出來(lái)的產(chǎn)品的產(chǎn)率直接相關(guān)的重要因素。現(xiàn)有的化學(xué)過(guò)濾器的過(guò)濾材料采用特殊浸漬處理的顆粒活性炭、或離子交換樹(shù)酯、高氧化性能的微球吸附劑，針對(duì)性強(qiáng)，吸附后不易解析，不產(chǎn)生二次污染。化學(xué)過(guò)濾器一般配合FFU使用，化學(xué)過(guò)濾器安裝于FFU的入風(fēng)口處，以對(duì)通過(guò)FFU送入潔凈空間的空氣進(jìn)行氣體過(guò)濾與凈化。

目前，針對(duì)化學(xué)過(guò)濾器的壽命檢測(cè)主要有線下檢測(cè)和在線檢測(cè)2種，線下檢測(cè)的常用方法是分別對(duì)化學(xué)過(guò)濾器的進(jìn)風(fēng)口和出風(fēng)口進(jìn)行化學(xué)氣氛的采樣，然后對(duì)采樣的樣本拿到實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行分析，如果分析的結(jié)果顯示進(jìn)風(fēng)口和出風(fēng)口的化學(xué)氣氛的濃度基本上沒(méi)變化了，就說(shuō)明該達(dá)到了化學(xué)過(guò)濾器的使用壽命；但是，這種檢測(cè)方式成本高、周期長(zhǎng)并且需要使用昂貴的實(shí)驗(yàn)分析儀器，而且其最主要的缺點(diǎn)是無(wú)法實(shí)現(xiàn)在線檢測(cè)，實(shí)時(shí)反饋能力很差。因此，在線檢測(cè)得到的廣泛需要和研發(fā)。

針對(duì)上述技術(shù)問(wèn)題，中國(guó)發(fā)明專利申請(qǐng)CN103630382A公開(kāi)了一種化學(xué)過(guò)濾器使用壽命的在線檢測(cè)設(shè)備和方法，該設(shè)備包括測(cè)試頭、氣泵和氣壓測(cè)試儀，通過(guò)測(cè)量定容容器內(nèi)壓力的變化來(lái)推導(dǎo)出漏出定容設(shè)備的氣體的標(biāo)況下的流量，利用化學(xué)過(guò)濾器的飽和程度與通風(fēng)性能的關(guān)系來(lái)實(shí)現(xiàn)壽命檢測(cè)的工作原理設(shè)計(jì)；其具體方法如下：第一步，在使用過(guò)程中，保證測(cè)試頭與化學(xué)過(guò)濾器的接觸面與周圍的空氣環(huán)境隔絕密封；第二步，使用氣泵改變測(cè)試頭內(nèi)的氣壓，氣泵為增加泵或真空泵；第三步，當(dāng)測(cè)試頭內(nèi)的氣壓達(dá)到指定值時(shí)關(guān)閉氣泵；第四步，當(dāng)測(cè)試頭內(nèi)的氣壓高于大氣環(huán)境氣壓時(shí)，測(cè)試頭內(nèi)的氣體通過(guò)化學(xué)過(guò)濾器流向外面，測(cè)試頭內(nèi)的壓力逐漸變小，使用氣壓測(cè)試儀記錄壓力變化過(guò)程；第五步，壓力變化過(guò)程分析，計(jì)算待測(cè)化學(xué)過(guò)濾器的飽和程度。然而，該方法存在如下問(wèn)題：(1)需要配置額外的氣泵和氣壓測(cè)試儀，因而成本較高，不利于商業(yè)上的推廣應(yīng)用；(2)該檢測(cè)方法在使用過(guò)程中需要保證測(cè)試頭與化學(xué)過(guò)濾器的接觸面與周圍的空氣環(huán)境隔絕密封，要求較高，操作復(fù)雜，實(shí)際上很難實(shí)現(xiàn)在線的實(shí)時(shí)檢測(cè)；(3)該方法主要利用氣壓壓力進(jìn)行測(cè)試，而氣壓極易因?yàn)槁舛环€(wěn)，因而檢測(cè)精度有待進(jìn)一步提高。

除此之外，更重要的是：由于不同廠房對(duì)潔凈度的要求是不同的，因此對(duì)化學(xué)過(guò)濾器的去除效率的要求也不同，例如，對(duì)于要求高的場(chǎng)合，當(dāng)化學(xué)過(guò)濾器的去除效率低于90％時(shí)就需要更換新的化學(xué)過(guò)濾器；而對(duì)于一些要求較低的場(chǎng)合，當(dāng)化學(xué)過(guò)濾器的去除效率低于60％時(shí)才需更換新的化學(xué)過(guò)濾器。這是因?yàn)榛瘜W(xué)過(guò)濾器的去除效率與通過(guò)的有害化學(xué)氣氛(如氯離子、硫化物、VOC、氨氣等等)的量有關(guān)，當(dāng)去除效率為90％時(shí)，就會(huì)有10％的有害化學(xué)氣氛進(jìn)入潔凈室，而當(dāng)去除效率為60％時(shí)，就會(huì)有40％的有害化學(xué)氣氛進(jìn)入潔凈室。因此，現(xiàn)有技術(shù)中還沒(méi)有真正意義上的針對(duì)化學(xué)過(guò)濾器的去除效率的檢測(cè)方法，而往往是等到化學(xué)過(guò)濾器的去除效率很低時(shí)(一般低于10％)、甚至是無(wú)法使用時(shí)才報(bào)警，而此時(shí)為時(shí)已晚，因?yàn)榇藭r(shí)潔凈室中的有害化學(xué)氣氛的量已經(jīng)很高了，這對(duì)于要求不高的場(chǎng)合還可以適用，但對(duì)于一些高要求的場(chǎng)合，就不合適了。因此，這一問(wèn)題成了本領(lǐng)域始終存在卻一直無(wú)法被解決的難題。