[發明專利]一種電場增強的三維螺旋結構基底在審
| 申請號: | 202010635642.4 | 申請日: | 2020-07-03 |
| 公開(公告)號: | CN113880042A | 公開(公告)日: | 2022-01-04 |
| 發明(設計)人: | 汪萬林 | 申請(專利權)人: | 深圳大學 |
| 主分類號: | B81B7/04 | 分類號: | B81B7/04 |
| 代理公司: | 深圳市精英專利事務所 44242 | 代理人: | 李瑩 |
| 地址: | 518000 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 電場 增強 三維 螺旋 結構 基底 | ||
1.一種電場增強的三維螺旋結構基底,其特征在于,所述三維螺旋結構基底包括多個三維螺旋結構單元,所述三維螺旋結構單元服從以下關系:
f(x,y,z)=sinxcosy+sinycosz+sinzcosx=t(-1.5≤t≤1.5);
其中x=2πX/a,y=2πY/a,z=2πZ/a;X、Y、Z∈(0,a);a為所述三維螺旋結構單元的周期;a=200-500納米;t調節所述三維螺旋結構單元的形貌;
所述三維螺旋結構基底的材質為貴金屬。
2.如權利要求1所述的電場增強的三維螺旋結構基底,其特征在于,所述三維螺旋結構基底的材質為金。
3.如權利要求1所述的電場增強的三維螺旋結構基底,其特征在于,所述三維螺旋結構基底的厚度為35-500微米。
4.如權利要求1所述的電場增強的三維螺旋結構基底,其特征在于,所述三維螺旋結構單元的占空比為50-80%。
5.如權利要求1所述的電場增強的三維螺旋結構基底,其特征在于,所述三維螺旋結構單元的周期a=300-400納米。
6.如權利要求5所述的電場增強的三維螺旋結構基底,其特征在于,所述三維螺旋結構單元的周期a=350納米。
7.如權利要求1所述的電場增強的三維螺旋結構基底,其特征在于,由雙光子三維光刻機制得。
8.如權利要求7所述的電場增強的三維螺旋結構基底,其特征在于,采用的激光光源為fs脈沖激光束。
9.如權利要求8所述的電場增強的三維螺旋結構基底,其特征在于,所述激光光源的頻率為1-3KHz,脈沖寬度為80-150fs,波長為600-1000nm。
10.如權利要求9所述的電場增強的三維螺旋結構基底,其特征在于,所述激光光源的頻率為1KHz,脈沖寬度為110fs,波長為800nm。
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