[發明專利]一種銅靶材組件的除銹打磨方法

在審

• 申請號: 202010628404.0
• 申請日: 2020-07-01
• 公開（公告）號: CN111775018A
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發明（設計）人: 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學澤;于江花
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B24B27/033
• 分類號: B24B27/033;B24B7/10;B24B27/00
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

1.一種銅靶材組件的除銹打磨方法，其特征在于，所述除銹打磨方法包括：

利用打磨介質對所述銅靶材組件的銹面依次進行銹面打磨和紋路打磨；打磨后所述銹面的粗糙度Ra≤0.8μm；所述紋路打磨從銹面的中心點處開始打磨。

2.如權利要求1所述的除銹打磨方法，其特征在于，所述打磨介質包括背絨砂紙和百潔布。

3.如權利要求2所述的除銹打磨方法，其特征在于，所述銹面打磨為采用背絨砂紙進行打磨。

4.如權利要求2所述的除銹打磨方法，其特征在于，所述紋路打磨為采用百潔布進行打磨。

5.如權利要求1-4任一項所述的除銹打磨方法，其特征在于，所述打磨處理前，對非打磨面進行遮蔽處理。

6.如權利要求5所述的除銹打磨方法，其特征在于，所述遮蔽處理為采用膠帶對非打磨面進行遮蔽。

7.如權利要求1-6任一項所述的除銹打磨方法，其特征在于，所述靶材組件中的背板打磨前應置于夾具上。

8.如權利要求7所述的除銹打磨方法，其特征在于，所述背板和夾具間設置有凈化布。

9.如權利要求1-8任一項所述的除銹打磨方法，其特征在于，所述靶材組件中的背板進行打磨時，所述打磨圍繞背板的圓心進行。

10.如權利要求1-9任一項所述的除銹打磨方法，其特征在于，所述除銹方法包括：

利用打磨介質對所述銅靶材組件的銹面依次進行銹面打磨和紋路打磨；打磨后所述銹面的粗糙度Ra≤0.8μm；所述紋路打磨從銹面的中心點處開始打磨；

其中，所述打磨介質包括背絨砂紙和百潔布；所述銹面打磨為采用背絨砂紙進行打磨；所述紋路打磨為采用百潔布進行打磨；所述打磨處理前，對非打磨面進行遮蔽處理；所述遮蔽處理為采用膠帶對非打磨面進行遮蔽；所述靶材組件中的背板打磨前應置于夾具上；所述靶材組件中的背板進行打磨時，所述打磨圍繞背板的圓心進行；所述背板和夾具間設置有凈化布。