[發(fā)明專利]用于基底嵌入異物表面分析的樣品制備方法以及檢測基底嵌入的異物的方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202010626298.2
• 申請日: 2020-07-02
• 公開（公告）號: CN111650019A
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱雷;潘京方;陳永鴻;高智豪;紀(jì)約義;劉兵海;梁偉德;華佑南;李曉旻
• 申請（專利權(quán)）人: 勝科納米（蘇州）有限公司
• 主分類號: G01N1/28
• 分類號: G01N1/28
• 代理公司: 北京崇智專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11605
• 代理人: 趙麗娜

1.用于基底嵌入異物表面分析的樣品制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

(a)對待測樣品中的異物定位后進(jìn)行研磨，至露出嵌入的異物，得到目標(biāo)區(qū)域；

(b)對所述目標(biāo)區(qū)域鍍保護(hù)層；

(c)根據(jù)露出的異物采用聚焦離子束深入切割得到含有露出異物面的檢測樣品。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于基底嵌入異物表面分析的樣品制備方法，其特征在于，步驟(a)中，先用顯微鏡對待測樣品嵌入異物的位置進(jìn)行標(biāo)識，然后進(jìn)行研磨。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于基底嵌入異物表面分析的樣品制備方法，其特征在于，步驟(a)中，根據(jù)所述嵌入異物的形狀，選擇異物最大面的垂直面進(jìn)行研磨，至露出異物。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于基底嵌入異物表面分析的樣品制備方法，其特征在于，步驟(b)中，所述保護(hù)層的材質(zhì)為鎢或鉑，所述保護(hù)層的厚度為不大于1.5μm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于基底嵌入異物表面分析的樣品制備方法，其特征在于，所述基底包括塑料制品和玻璃制品；

所述塑料制品包括酚醛塑料、聚氨酯塑料、環(huán)氧塑料、不飽和聚酯塑料、呋喃塑料和有機(jī)硅樹脂、丙烯基樹脂及其改性樹脂為基體制成的塑料。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的用于基底嵌入異物表面分析的樣品制備方法，其特征在于，步驟(c)中，所述切割沿異物露出面的垂直方向切割，以得到異物最大的露出面。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于基底嵌入異物表面分析的樣品制備方法，其特征在于，所述檢測樣品的大小均大于5μm，優(yōu)選為10-30μm×10-30μm，所述切割的厚度為0.5-5μm。

8.一種檢測基底嵌入的異物的方法，其特征在于，將權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的方法制得的檢測樣品進(jìn)行表面分析檢測，判斷所述異物。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的檢測基底嵌入的異物的方法，其特征在于，所述切割得到的檢測樣品用升降探針取出，然后放置并固定在半月板網(wǎng)、三角板網(wǎng)或四方板網(wǎng)上進(jìn)行表面分析檢測。

10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的檢測基底嵌入的異物的方法，其特征在于，所述表面分析檢測包括TOF-SIMS、XPS、AES、FTIR、Raman、LEIS、MEIS。