[發明專利]用于實施磁控濺射的磁控管

在審

• 申請號: 202010619335.7
• 申請日: 2020-06-30
• 公開（公告）號: CN111826623A
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發明（設計）人: 來華杭;俞峰;劉杰;施成亮;江嘉;周海龍
• 申請（專利權）人: 浙江上方電子裝備有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 杭州合信專利代理事務所(普通合伙) 33337
• 代理人: 沈自軍

1.用于實施磁控濺射的磁控管，包括筒狀的靶材，靶材內部作為安裝室并設置有陰極磁棒，其特征在于，所述安裝室沿靶材軸向間隔排布有多個支撐架，在所述多個支撐架固定有沿靶材軸向延伸的冷卻水管；

所述陰極磁棒包括沿靶材軸向延伸的極靴以及固定在極靴頂面的多個磁塊，極靴底面與所述冷卻水管通過所述間距調節座相連，在極靴頂面還扣設有遮蔽各磁塊的密封罩。

2.根據權利要求1所述的磁控管，其特征在于，所述支撐架上帶有卡口，所述冷卻水管為單根管材且嵌裝在所述卡口內，在卡口的側壁安裝有與所述冷卻水管固定的緊固件。

3.根據權利要求2所述的磁控管，其特征在于，所述支撐架背向所述卡口一側外邊緣與所述安裝室內壁相抵，所述陰極磁棒處在背向卡口一側，陰極磁棒上的磁塊朝向所述安裝室內壁。

4.根據權利要求1所述的磁控管，其特征在于，所述緊固件沿所述冷卻水管徑向間隙貫穿所述冷卻水管。

5.根據權利要求1所述的磁控管，其特征在于，所述間距調節座包括：

U型托，所述冷卻水管被夾持固定在所述U型托內；

兩調整塊，分別固定在U型托開口兩側；

調節螺桿，作用在各所述調整塊以及安裝底面之間，以改變極靴上磁塊與靶材的間距。

6.根據權利要求5所述的磁控管，其特征在于，所述極靴底面成對的布置有墊塊，處在U型托開口兩側的調節螺桿分別與對應的墊塊相抵和/螺紋配合。

7.根據權利要求6所述的磁控管，其特征在于，所述冷卻水管的兩相對側外壁設有定位卡槽，所述兩調整塊分別與對應的定位卡槽相配合。

8.根據權利要求1所述的磁控管，其特征在于，所述極靴頂面在所述磁塊的周邊開設有嵌槽，所述嵌槽內設置有密封墊，所述密封罩的底部壓緊所述密封墊。

9.根據權利要求1所述的磁控管，其特征在于，所述密封罩包括：

外殼，沿靶材軸向延伸至所述極靴的相應端；

兩封頭，密封配合在外殼與所述極靴的端部。

10.根據權利要求1所述的磁控管，其特征在于，所述外殼的兩相對側帶有外翻邊，并通過所述外翻邊壓緊所述密封墊，所述外翻邊通過螺釘固定至極靴頂面。