[發明專利]一種測量微尺度金屬樣品電阻率的裝置和方法

在審

• 申請號: 202010610197.6
• 申請日: 2020-06-30
• 公開（公告）號: CN111856138A
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 傅思偉;葉芳;李田;齊文艷;張迅達;陳韶瑜;周連升;管森森;甘智勇;于金山;文黎;溫力;李慶釗
• 申請（專利權）人: 國網天津市電力公司電力科學研究院;國網天津市電力公司;國家電網有限公司
• 主分類號: G01R27/02
• 分類號: G01R27/02;G01R3/00
• 代理公司: 天津盛理知識產權代理有限公司 12209
• 代理人: 王來佳

1.一種測量微尺度金屬樣品電阻率的裝置，其特征在于：包括基板，在基板的上制有圖形化的測試電極，待測樣品置于基板上與測試電極連接，測試電極連接電阻測量電路。

2.根據權利要求1所述的測量微尺度金屬樣品電阻率的裝置，其特征在于：所述的圖形化的測試電極采用光刻法或金屬物理掩膜版與物理氣相沉積相結合的方法或噴墨打印方法制成。

3.根據權利要求1所述的測量微尺度金屬樣品電阻率的裝置，其特征在于：本裝置還包括一用于改變樣品溫度的加熱器，所述加熱器置于基板下方，加熱器由溫控儀控制溫度。

4.根據權利要求1或3所述的測量微尺度金屬樣品電阻率的裝置，其特征在于：本裝置還包括一用于避免樣品氧化的真空腔室，所述基板置于真空腔室內。

5.根據權利要求1或2所述的測量微尺度金屬樣品電阻率的裝置，其特征在于：所述基板上制有測溫電阻，測溫電極連接溫度顯示器。

6.根據權利要求1或3所述的測量微尺度金屬樣品電阻率的裝置，其特征在于：在基板的上方安裝一蓋板。

7.一種基于四線法測量微尺度金屬樣品電阻率的方法，其特征在于：首先在基板上制作測試電極，將樣品置于基板之上，與測試電極連接，測試電極連接四線法電阻測量電路，持續測量樣品電阻率。

8.一種基于四線法測量微尺度金屬樣品電阻率的方法，其特征在于：首先在基板上制作測試電極及測溫電極，將樣品置于基板之上，與測試電極連接，測試電極連接四線法電阻測量電路；將基板置于加熱臺上，基板及加熱臺均放入一真空腔室，通過調整溫度，繪制電阻率隨溫度的變化關系曲線。