[發明專利]一種半導體光刻板清洗機

有效

• 申請號: 202010597763.4
• 申請日: 2020-06-28
• 公開（公告）號: CN111701935B
• 公開（公告）日: 2021-11-09
• 發明（設計）人: 王佩
• 申請（專利權）人: 廣東達源設備科技有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00;B08B17/02
• 代理公司: 北京權智天下知識產權代理事務所(普通合伙) 11638
• 代理人: 楊劍

1.一種半導體光刻板清洗機，其結構包括清洗艙(1)、把手(2)、設備艙(3)，所述清洗艙(1)通過焊接安裝在設備艙(3)的正上方，所述把手(2)嵌固安裝在設備艙(3)上端左側方；其特征在于：

所述清洗艙(1)包括鑲嵌軌(11)、噴霧器(12)、活動軸端(13)、連通軟管(14)、儲備槽(15)、工作平臺(16)，所述鑲嵌軌(11)卡合連接著活動軸端(13)的下端面，所述噴霧器(12)活動卡合在活動軸端(13)正下方，所述活動軸端(13)嵌固連接在儲備槽(15)左側方，所述連通軟管(14)鑲嵌連接在噴霧器(12)的右側端面，且與儲備槽(15)表面連接，所述工作平臺(16)位于噴霧器(12)的正下方；

所述工作平臺(16)包括蓄流槽(161)、防漏板(162)、鏤空口(163)、支撐弧板(164)、連接塊(165)，所述蓄流槽(161)鑲嵌卡合連接在防漏板(162)的正下方，所述防漏板(162)上表面均勻分布著鏤空口(163)，所述鏤空口(163)鑲嵌安裝在連接塊(165)正上方，所述支撐弧板(164)對稱安裝在防漏板(162)的左右兩側，所述連接塊(165)嵌固安裝在工作平臺(16)的下端面；

所述鏤空口(163)包括鑲嵌螺紋環(3a)、分割片(3b)、流通口(3c)、防護擋板(3d)，所述鑲嵌螺紋環(3a)鑲嵌環繞在鏤空口(163)的外側端面，所述分割片(3b)均勻分布在流通口(3c)的內壁上，所述流通口(3c)位于防護擋板(3d)正下方，所述防護擋板(3d)鑲固連接在鏤空口(163)的上端表面；

所述支撐弧板(164)包括防漏機構(4a)、積流槽(4b)、導流口(4c)，所述防漏機構(4a)嵌固安裝在導流口(4c)的正上方，且與積流槽(4b)的表面相貼合，所述積流槽(4b)位于防漏機構(4a)的左下方。

2.根據權利要求1所述的一種半導體光刻板清洗機，其特征在于：所述分割片(3b)包括疏油層(3b1)、切割刀片(3b2)、流動槽(3b3)、連接板(3b4)，所述疏油層(3b1)均勻包裹在切割刀片(3b2)的下端外表面，所述切割刀片(3b2)通過電焊連接在連接板(3b4)的上方端面，所述流動槽(3b3)鑲嵌卡合在連接板(3b4)的內端面，所述連接板(3b4)鑲嵌安裝在流通口(3c)的內端面。

3.根據權利要求1所述的一種半導體光刻板清洗機，其特征在于：所述防漏機構(4a)包括頂板(4a1)、彈簧(4a2)、第二流動槽(4a3)、支撐塊(4a4)，所述頂板(4a1)下端面通過電焊連接著彈簧(4a2)，所述彈簧(4a2)位于第二流動槽(4a3)的左側方，所述第二流動槽(4a3)的右側端設有支撐塊(4a4)。