[發(fā)明專利]一種紅外熱輻射光源發(fā)光特性的測量方法和裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010595707.7 | 申請日： | 2020-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN111595439A | 公開（公告）日： | 2020-08-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 范元媛;邱乙耕;亓巖;顏博霞;王延偉;韓哲;齊月靜;王宇 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院微電子研究所 |
| 主分類號： | G01J1/42 | 分類號： | G01J1/42;G01J1/02 |
| 代理公司： | 北京華沛德權(quán)律師事務(wù)所 11302 | 代理人： | 房德權(quán) |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 紅外 熱輻射 光源 發(fā)光 特性 測量方法 裝置 | ||
1.一種紅外熱輻射光源發(fā)光特性的測量方法，其特征在于，所述方法包括：
利用光電探測器獲取紅外輻射光源在設(shè)定角度的實時光功率；其中，所述光電探測器的感光區(qū)域中心點與所述紅外輻射光源的設(shè)定位置的距離為設(shè)定長度；
根據(jù)所述實時光功率，判斷所述紅外輻射光源的光功率的增長趨勢是否符合一次函數(shù)關(guān)系；
若是，則控制所述紅外輻射光源在水平面內(nèi)以第一路徑繞所述設(shè)定位置轉(zhuǎn)動；其中，所述第一路徑為由最小測量角度到最大測量角度再到所述最小測量角度的路徑；所述第一路徑中所述紅外輻射光源經(jīng)若干次轉(zhuǎn)動到達(dá)若干個第一測量角度；所述若干次轉(zhuǎn)動中每次轉(zhuǎn)動的旋轉(zhuǎn)角度均為設(shè)定角度；所述若干次轉(zhuǎn)動中每次轉(zhuǎn)動的速度均為設(shè)定速度；所述若干次轉(zhuǎn)動中相鄰轉(zhuǎn)動的間隔時間為第一設(shè)定時間；所述最小測量角度為所述紅外輻射光源的中軸線正對所述光電探測器的感光區(qū)域時所述紅外輻射光源的中軸線與所述光電探測器的感光區(qū)域的法線方向之間的角度；所述最大測量角度為所述光電探測器能夠檢測到所述紅外輻射光源的所述紅外輻射光源的中軸線與所述光電探測器的感光區(qū)域的法線方向之間的最大劣角；
利用所述光電探測器獲取所述若干個第一測量角度對應(yīng)的第一測量光功率陣列；
控制所述紅外輻射光源在水平面內(nèi)以第二路徑繞所述設(shè)定位置旋轉(zhuǎn)；其中，所述第二路徑為由所述最大測量角度到所述最小測量角度再到所述最大測量角度的路徑；所述第二路徑中所述紅外輻射光源經(jīng)若干次旋轉(zhuǎn)到達(dá)若干個第二測量角度；所述若干次旋轉(zhuǎn)中每次旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)角度均為所述設(shè)定角度；所述若干次旋轉(zhuǎn)中每次旋轉(zhuǎn)的速度均為所述設(shè)定速度；所述若干次旋轉(zhuǎn)中相鄰旋轉(zhuǎn)的間隔時間為所述第一設(shè)定時間；
利用所述光電探測器獲取所述若干個第二測量角度對應(yīng)的第二測量光功率陣列；
根據(jù)所述第一測量光功率陣列和所述第二測量光功率陣列，獲取所述紅外熱輻射光源的光強分布。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量方法，其特征在于，所述根據(jù)所述實時光功率，判斷所述紅外輻射光源的光功率的增長趨勢是否符合一次函數(shù)關(guān)系，包括：
判斷所述紅外輻射光源的第一實時光功率P1、第二實時光功率P2、第三實時光功率P3和第四實時光功率P4是否符合不等式組；其中所述不等式組的表達(dá)式為：
其中，第一實時光功率P1、第二實時光功率P2、第三實時光功率P3和第四實時光功率P4的采集時間依次間隔第二設(shè)定時間；ΔP為設(shè)定最大波動功率；
若是，則認(rèn)定所述紅外輻射光源的光功率的增長趨勢符合一次函數(shù)關(guān)系。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量方法，其特征在于，所述根據(jù)所述第一測量光功率陣列和所述第二測量光功率陣列，獲取所述紅外熱輻射光源的光強分布，包括：
按照所述紅外輻射光源的測量角度對所述第一測量光功率陣列和所述第二測量光功率陣列中的數(shù)據(jù)進(jìn)行聚類處理，構(gòu)建測量光功率矩陣；其中，所述測量角度為測量時所述紅外輻射光源的中軸線與所述光電探測器的感光區(qū)域的法線方向之間的劣角；
對所述測量光功率矩陣進(jìn)行歸一化處理，獲取歸一化測量光功率矩陣；
對所述歸一化測量光功率矩陣中每個所述紅外輻射光源的測量角度對應(yīng)的數(shù)據(jù)進(jìn)行均值計算，獲取所述紅外熱輻射光源的光強分布。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測量方法，其特征在于，所述對所述測量光功率矩陣進(jìn)行歸一化處理，獲取歸一化測量光功率矩陣，包括：
獲取所述測量光功率矩陣的每個行向量中的最大數(shù)值；其中，所述測量光功率矩陣的列向量為所述測量角度中同一測量角度對應(yīng)的數(shù)據(jù)；所述測量光功率矩陣的行向量為所述測量角度中不同測量角度對應(yīng)的數(shù)據(jù)；
根據(jù)所述每個行向量中的最大數(shù)值，對所述每個行向量進(jìn)線歸一化處理，獲取所述歸一化測量光功率矩陣。
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