[發明專利]玻璃板的清洗裝置及玻璃板的制造方法

在審

• 申請號: 202010594418.5
• 申請日: 2020-06-24
• 公開（公告）號: CN112139189A
• 公開（公告）日: 2020-12-29
• 發明（設計）人: 鑒繼薰;柿木浩
• 申請（專利權）人: 日本電氣硝子株式會社
• 主分類號: B08B11/04
• 分類號: B08B11/04;B08B3/02;B08B3/08;B08B3/10;B08B1/02;C03C23/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 佟勝男

本發明提供一種玻璃板的清洗裝置以及玻璃板的制造方法。玻璃板的清洗裝置(1)一邊沿規定的搬運方向(X)搬運玻璃板(G)一邊對該玻璃板(G)進行清洗，并具備向玻璃板(G)的上表面(Ga)吹送蒸氣(S)的蒸氣噴嘴(19)，以用于對玻璃板(G)進行清洗。

技術領域

本發明涉及玻璃板的清洗技術。

背景技術

近年來，液晶顯示器、等離子體顯示器、有機EL顯示器等平板顯示器(FPD)不斷推進高精細化。伴隨于此，在用作FPD用的基板的玻璃板上，通過FPD的制造工序來形成致密的電路。因此，對于這種玻璃板，要求不帶有灰塵、污垢的高清潔性。

因此，在玻璃板的制造工序中，通常從玻璃原板切出規定尺寸的玻璃板，在對該切出的玻璃板的切斷端面進行端面加工之后，設置對玻璃板進行清洗的清洗工序(例如參照專利文獻1)。

作為清洗玻璃板的方法，可列舉通過清洗盤、清洗刷(輥刷)等清洗工具對沿規定方向搬運的玻璃板進行清洗的方法(例如參照專利文獻2)。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2017-100260號公報

專利文獻2：日本特開2017-14060號公報

然而，玻璃原板以捆包的方式被保管，具體地說，以隔著保護片(發泡樹脂片、玻璃襯紙)層疊在托盤上的狀態被保管。此時，保護片的成分轉印至玻璃原板、或者層疊時進入保護片與玻璃原板之間的環境氣體中的懸浮物附著于玻璃原板，其結果是，在玻璃原板上產生捆包污垢。在使清洗盤、清洗刷等清洗工具接觸于玻璃板的表面以進行清洗的情況下，雖能夠去除捆包污垢等粗大的污垢，但在微小異物等微小的污垢的去除上存在不足。

發明內容

發明要解決的課題

本發明的課題在于，實現玻璃板的清洗工序中的清洗力的進一步提高。

用于解決課題的手段

為了解決上述課題而提出的本發明是一邊沿規定的搬運方向搬運玻璃板一邊對該玻璃板進行清洗的玻璃板的清洗裝置，其特征在于，玻璃板的清洗裝置具備向玻璃板的第一主面以及第二主面中的至少一方吹送蒸氣的蒸氣噴嘴，以用于對玻璃板進行清洗。

這樣的話，通過與玻璃板接觸的蒸氣的作用來減弱污垢附著于玻璃板的附著力，從而不僅能夠實現捆包污垢等粗大的污垢的改善，還能夠實現微小異物等微小的污垢的減少。

在上述的結構中，優選的是，玻璃板的清洗裝置具備：蒸氣槽，其在內部配置有蒸氣噴嘴；清洗槽，其在內部收容蒸氣槽；以及排氣口，其用于將蒸氣槽的內部的環境氣體向清洗槽的外部排出。

這樣的話，由于能夠將充滿于蒸氣槽內的蒸氣從排氣口向清洗槽的外部排出，因此蒸氣不容易從蒸氣槽向清洗槽流出。其結果是，能夠保護清洗槽免受高溫的蒸氣的影響，能夠減少清洗槽的溫度上升的情況。換言之，如果使蒸氣槽由金屬等耐熱性構件構成，則對于清洗槽的材質也可以使用耐熱性低的樹脂等。另外，即使在具備由耐熱性低的樹脂等構成的清洗槽的現有的清洗裝置中，若設置蒸氣槽，則能夠從蒸氣噴嘴吹送高溫的蒸氣。或者，即使在清洗槽由金屬構成的情況下，也不需要清洗槽的熱對策。因此，能夠抑制設備成本而應用本發明。

在上述的結構中，優選的是，排氣口分別配置于玻璃板的第一主面側以及第二主面側。

這樣的話，無論有無玻璃板，均容易將蒸氣從排氣口向清洗槽的外部排出。因此，能夠可靠地抑制在蒸氣槽內蒸氣過度充滿，從而蒸氣從蒸氣槽向清洗槽流出的情況。

在上述的結構中，優選的是，玻璃板的第一主面為上表面，玻璃板的第二主面為下表面，蒸氣噴嘴從玻璃板的上方向玻璃板的第一主面吹送蒸氣。