[發明專利]超聲換能器制備方法、超聲換能器以及信息采集元件

有效

• 申請號: 202010568777.3
• 申請日: 2020-06-19
• 公開（公告）號: CN111530723B
• 公開（公告）日: 2020-12-11
• 發明（設計）人: 王文軒;沈健;陸斌
• 申請（專利權）人: 深圳市匯頂科技股份有限公司
• 主分類號: B06B1/06
• 分類號: B06B1/06
• 代理公司: 北京合智同創知識產權代理有限公司 11545
• 代理人: 李杰

1.一種超聲換能器制備方法，其特征在于，包括：

在基底層上形成第一電極；

在所述第一電極的第一表面形成鈍化保護層，所述第一電極的第一表面在所述第一電極遠離所述基底層的一側；

在所述鈍化保護層的第一表面形成電路層，所述鈍化保護層的第一表面在所述鈍化保護層遠離所述第一電極的一側；

在所述電路層第一表面形成功能層，所述電路層的第一表面在所述電路層遠離所述鈍化保護層的一側；

去除所述基底層；

在所述第一電極的第二表面形成壓電層，所述第一電極的第二表面在所述第一電極遠離所述鈍化保護層的一側；

在所述壓電層的第一表面形成第二電極，所述壓電層的第一表面在所述壓電層遠離所述第一電極的一側。

2.根據權利要求1所述的超聲換能器制備方法，其特征在于，在所述電路層第一表面形成功能層之后，所述方法還包括：

在所述功能層的第一表面形成到達所述電路層的第一開孔，所述功能層的第一表面在所述功能層遠離所述電路層的一側；

在所述功能層的第一表面進行線路層沉積和圖像化處理，形成通過所述第一開孔與所述電路層電連接的電連接端，以使得所述電路層通過所述電連接端與外部連接。

3.根據權利要求1所述的超聲換能器制備方法，其特征在于，在所述電路層第一表面形成功能層之后，所述方法還包括：

在所述功能層的第一表面形成到達所述電路層的第二開孔，所述功能層的第一表面在所述功能層遠離所述電路層的一側，以使得所述電路層的第一表面，在所述第二開孔處露出的部分形成信號反射面。

4.根據權利要求1所述的超聲換能器制備方法，其特征在于，在所述電路層第一表面形成功能層之后，所述方法還包括：

在所述電路層第一表面形成功能層，所述電路層的第一表面在所述電路層遠離所述鈍化保護層的一側；

在所述功能層的第一表面形成到達所述電路層的第三開孔，所述功能層的第一表面在所述功能層遠離所述電路層的一側；

在所述第三開孔處填充用于減少信號能量損失的聲阻抗匹配材料。

5.根據權利要求1所述的超聲換能器制備方法，其特征在于，在所述鈍化保護層的第一表面形成電路層之后，所述方法還包括：

在所述電路層第一表面形成匹配層，所述電路層的第一表面在所述電路層遠離所述鈍化保護層的一側，所述匹配層包括用于減少信號能量損失的聲阻抗匹配材料。

6.根據權利要求1所述的超聲換能器制備方法，其特征在于，所述在所述壓電層的第一表面形成第二電極之后，所述方法還包括：

對所述壓電層進行部分去除，以露出所述第一電極，并將所述第一電極露出的部分與所述第二電極電連接。

7.根據權利要求1-6中任一項所述的超聲換能器制備方法，其特征在于，所述在基底層上形成第一電極，包括：

在所述基底層上形成犧牲層，并在所述犧牲層的第一表面形成所述第一電極，所述犧牲層的第一表面在所述犧牲層遠離所述基底層的一側；

所述去除所述基底層，包括：

去除所述基底層以及所述犧牲層。

8.一種超聲換能器，其特征在于，包括：功能層、電路層、壓電層、鈍化保護層、第一電極和第二電極；

所述功能層為柔性電介質；

所述電路層設置于所述功能層和所述鈍化保護層之間；

所述第一電極設置于所述鈍化保護層遠離所述電路層的一側；

所述壓電層設置于所述第一電極遠離所述鈍化保護層的一側，且所述壓電層位于所述第一電極和所述第二電極之間；

所述超聲換能器去除了基底層。

9.根據權利要求8所述的超聲換能器，其特征在于，

所述功能層設置有從所述功能層的第一表面到所述電路層的第一開孔，所述功能層的第一表面在所述功能層遠離所述電路層的一側；

所述功能層的第二表面設置有電連接端，所述電連接端通過所述第一開孔與所述電路層電連接。