[發明專利]熱處理的控制方法、裝置及設備

有效

• 申請號: 202010564385.X
• 申請日: 2020-06-19
• 公開（公告）號: CN111781870B
• 公開（公告）日: 2022-02-22
• 發明（設計）人: 宋興亮
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: G05B19/042
• 分類號: G05B19/042;B05D3/06
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 11315
• 代理人: 朱文杰

1.一種熱處理的控制方法，應用于熱處理腔室，所述熱處理腔室包括電機、加熱裝置、用于放置待處理件的承載裝置及惰性氣體氣路；其特征在于，所述方法包括：

判斷熱處理過程的當前待處理步驟與上一已處理步驟中的電機參數是否滿足跳過執行設定操作的條件，所述電機參數包括電機速度、電機起點及電機終點；

若滿足跳過執行設定操作的條件，則跳過執行所述設定操作；

確定所述當前待處理步驟與所述上一已處理步驟分別對應的熱處理參數的不同參數值，并根據所述不同參數值對所述當前待處理步驟對應的熱處理參數進行調整；

在所述當前待處理步驟的計時開始時，基于調整后的所述熱處理參數執行所述當前待處理步驟。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述判斷熱處理過程的當前待處理步驟與上一已處理步驟中的電機參數是否滿足跳過執行設定操作的條件，包括：

若所述當前待處理步驟與所述上一已處理步驟中僅有所述電機速度不同，則確定所述當前待處理步驟與所述上一已處理步驟中的電機參數滿足跳過執行所述設定操作的條件。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在所述判斷熱處理過程的當前待處理步驟與上一已處理步驟中的電機參數是否滿足跳過執行設定操作的條件之后，所述確定所述當前待處理步驟與所述上一已處理步驟分別對應的熱處理參數的不同參數值之前，還包括：

若不滿足跳過執行設定操作的條件，則執行所述設定操作。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的方法，其特征在于，所述熱處理參數包括所述承載裝置的位置、所述熱處理腔室內的惰性氣體流量、所述加熱裝置的輸出功率及所述電機參數；

所述確定所述當前待處理步驟與所述上一已處理步驟分別對應的熱處理參數的不同參數值，并根據所述不同參數值對所述當前待處理步驟對應的熱處理參數進行調整，包括：

若所述當前待處理步驟與所述上一已處理步驟分別對應的所述承載裝置的位置不同，則根據所述當前待處理步驟對應的指定位置調整所述承載裝置的位置；

若所述當前待處理步驟與所述上一已處理步驟分別對應的所述惰性氣體流量不同，則在當前惰性氣體流量大于零的情況下，根據所述當前待處理步驟對應的指定惰性氣體流量調整所述惰性氣體流量；在所述當前惰性氣體流量等于零的情況下，關閉所述惰性氣體氣路；

若所述當前待處理步驟與所述上一已處理步驟分別對應的所述加熱裝置的輸出功率不同，則在所述加熱裝置的當前輸出功率大于零的情況下，根據所述當前待處理步驟對應的指出輸出功率調整所述加熱裝置的輸出功率，并開啟所述加熱裝置；在所述當前輸出功率等于零的情況下，關閉所述加熱裝置；

若所述當前待處理步驟與所述上一已處理步驟分別對應的所述電機參數不同，則在所述電機參數中僅有所述電機速度不同、且所述電機正在旋轉的情況下，根據所述當前待處理步驟對應的指定電機速度調整所述電機速度；在多個所述電機參數均不同、且所述電機停止旋轉的情況下，根據所述當前待處理步驟對應的指定電機參數調整各所述電機參數，并控制所述電機開始旋轉。

5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括：

當監測到針對所述當前待處理步驟的計時結束時，判斷是否存在尚未執行的與所述當前待處理步驟相鄰的下一待處理步驟；

若不存在，則結束所述熱處理的處理流程；

若存在，則將所述當前待處理步驟作為所述上一已處理步驟，將所述下一待處理步驟作為所述當前待處理步驟，并繼續執行所述判斷熱處理過程的當前待處理步驟與上一已處理步驟中的電機參數是否滿足跳過執行設定操作的條件的步驟。

6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述判斷熱處理過程的當前待處理步驟與上一已處理步驟中的電機參數是否滿足跳過執行設定操作的條件之前，還包括：

將所述熱處理過程中所述電機速度不為零的處理步驟確定為目標處理步驟，配置所述目標處理步驟的計時時長，其中，所述目標處理步驟的計時時長小于所述電機旋轉N周所需的時長，所述N為所述電機在對應的所述目標處理步驟中的旋轉周數；N為正整數。