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[發明專利]由甲基六氫化萘二酮合成的可降解型光刻膠樹脂單體及其合成方法在審

專利信息
申請號: 202010562350.2 申請日: 2020-06-18
公開(公告)號: CN111763147A 公開(公告)日: 2020-10-13
發明(設計)人: 潘新剛;傅志偉;賀寶元;邵嚴亮;毛國平 申請(專利權)人: 徐州博康信息化學品有限公司
主分類號: C07C69/54 分類號: C07C69/54;C07C67/14;C08F222/14;G03F7/004
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 221327 江蘇省*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 甲基 氫化 萘二酮 合成 降解 光刻 樹脂 單體 及其 方法
【權利要求書】:

1.由甲基六氫化萘二酮合成的可降解型光刻膠樹脂單體,其特征在于,所述樹脂單體的結構式如下:

其中R1為飽和烷烴或者環烷烴,R2為氫或者甲基。

2.根據權利要求1所述的由甲基六氫化萘二酮合成的可降解型光刻膠樹脂單體,其特征在于,所述樹脂單體的具體結構包括:

3.由甲基六氫化萘二酮合成的可降解型光刻膠樹脂單體的合成方法,其特征在于,所述合成方法的反應路線為:

合成步驟:

第一步格氏反應,在惰性氣體保護下,(4as,8ar)-4a-甲基六氫化萘-2,7(1H,3H)-二酮(Ⅰ)與烷基格氏試劑或者環烷基格氏試劑反應,反應結束后加水淬滅,后處理純化得到中間體(Ⅱ);

第二步酯化反應,在堿性條件下,中間體(Ⅱ)與丙烯酰氯或者甲基丙烯酰氯反應,后處理純化后得到樹脂單體(Ⅲ)。

4.根據權利要求3所述的由甲基六氫化萘二酮合成的可降解型光刻膠樹脂單體的合成方法,其特征在于,所述格氏反應的溫度為0-30攝氏度。

5.根據權利要求3所述的由甲基六氫化萘二酮合成的可降解型光刻膠樹脂單體的合成方法,其特征在于,所述格氏反應的溶劑為無水乙醚。

6.根據權利要求3所述的由甲基六氫化萘二酮合成的可降解型光刻膠樹脂單體的合成方法,其特征在于,所述酯化反應的反應溫度為0-70攝氏度。

7.根據權利要求3所述的由甲基六氫化萘二酮合成的可降解型光刻膠樹脂單體的合成方法,其特征在于,所述酯化反應的溶劑選自四氫呋喃、甲苯或者氯仿。

8.根據權利要求3所述的由甲基六氫化萘二酮合成的可降解型光刻膠樹脂單體的合成方法,其特征在于,為保證酯化反應的堿性條件,需要向體系中添加三乙胺或者吡啶。

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