[發明專利]一種硅晶圓蝕刻輔助裝置

在審

• 申請號: 202010561665.5
• 申請日: 2020-06-18
• 公開（公告）號: CN111672227A
• 公開（公告）日: 2020-09-18
• 發明（設計）人: 吳美華
• 申請（專利權）人: 吳美華
• 主分類號: B01D46/24
• 分類號: B01D46/24;B01D46/00;B01D46/10;B01D53/04;H01L21/67
• 代理公司: 北京勁創知識產權代理事務所(普通合伙) 11589
• 代理人: 曹玉清

1.一種硅晶圓蝕刻輔助裝置，包括矩形盒(1)，其特征在于，所述矩形盒(1)的四個側面與頂部均設置有活性炭濾網(2)，且矩形盒(1)的底部固定安裝有底固定板(4)，所述活性炭濾網(2)與矩形盒(1)之間設置有密封框(3)，所述底固定板(4)的底部固定安裝有四個支撐柱(5)，四個所述支撐柱(5)的底部固定安裝有同一個底支撐板(6)，所述底固定板(4)與底支撐板(6)之間設置有導氣管(7)，且導氣管(7)的一端固定安裝有法蘭盤(8)，所述底支撐板(6)的底部固定安裝有四個萬向輪(9)，所述活性炭濾網(2)的兩側均通過搭扣(10)與矩形盒(1)相連接，且搭扣(10)的一側設置有限位機構(11)，所述矩形盒(1)的四個側面與頂部均開設有矩形孔(12)，且矩形孔(12)的內部固定安裝有十字架(13)，所述矩形盒(1)的內底面固定安裝有環形座(14)，且矩形盒(1)的內部設置有活性炭空氣濾筒(15)，所述活性炭空氣濾筒(15)的頂部固定安裝有端蓋(16)，且活性炭空氣濾筒(15)的底部設置有密封圈(17)，所述環形座(14)的內側面頂部開設有錐形面(18)，且環形座(14)的內側面開設有兩個卡位槽(19)，所述活性炭空氣濾筒(15)上固定有兩個卡位凸起(20)，所述限位機構(11)包括固定柱(25)與限位塊(26)，所述固定柱(25)的外側面底部設置有環形凸起(27)，且環形凸起(27)通過緊固螺釘(28)固定安裝在矩形盒(1)上，所述固定柱(25)的上端外表面開設有螺紋孔(29)，且固定柱(25)的側面固定連接有直角板(30)，且直角板(30)上焊接有彈性片(31)，所述固定柱(25)與限位塊(26)之間設置有第一橡膠圈(32)，所述彈性片(31)與限位塊(26)之間設置有第二橡膠圈(33)，所述限位塊(26)上開設有通孔(34)，所述彈性片(31)上貫穿有壓緊螺栓(35)，且壓緊螺栓(35)通過螺紋孔(29)與固定柱(25)螺紋連接。

2.根據權利要求1所述的一種硅晶圓蝕刻輔助裝置，其特征在于，所述卡位槽(19)包括豎槽(21)、斜槽(22)、橫槽(23)與定位卡槽(24)，且豎槽(21)通過斜槽(22)與橫槽(23)相連通，所述定位卡槽(24)與橫槽(23)相連通，所述豎槽(21)、斜槽(22)、橫槽(23)與定位卡槽(24)的內表面均為光滑面。

3.根據權利要求1所述的一種硅晶圓蝕刻輔助裝置，其特征在于，所述密封框(3)與密封圈(17)均為橡膠材質制成，所述彈性片(31)為不銹鋼材質制成。

4.根據權利要求1所述的一種硅晶圓蝕刻輔助裝置，其特征在于，所述活性炭空氣濾筒(15)通過密封圈(17)與矩形盒(1)的內底面密封連接，所述活性炭濾網(2)通過密封框(3)與矩形盒(1)密封連接。

5.根據權利要求1所述的一種硅晶圓蝕刻輔助裝置，其特征在于，所述導氣管(7)貫穿底固定板(4)，且導氣管(7)的另一端與活性炭空氣濾筒(15)的內腔相連通。

6.根據權利要求1所述的一種硅晶圓蝕刻輔助裝置，其特征在于，四個所述支撐柱(5)分別位于底支撐板(6)的頂部四個拐角處，四個所述萬向輪(9)分別位于底支撐板(6)的底部四個拐角處。

7.根據權利要求1所述的一種硅晶圓蝕刻輔助裝置，其特征在于，所述壓緊螺栓(35)貫穿第一橡膠圈(32)、第二橡膠圈(33)與通孔(34)，所述卡位凸起(20)的一端外表面為半球面。

8.根據權利要求1所述的一種硅晶圓蝕刻輔助裝置，其特征在于，所述活性炭濾網(2)的邊框上設置有兩個把手(36)，且把手(36)包括握持桿(37)與兩個固定板(38)，兩個所述固定板(38)焊接在握持桿(37)的兩端，所述固定板(38)的一端設置有連接凸起(39)，且連接凸起(39)通過安裝螺栓(40)固定安裝在活性炭濾網(2)的邊框上。