[發明專利]一種DI光刻機的LED光學系統

在審

• 申請號: 202010558092.0
• 申請日: 2020-06-18
• 公開（公告）號: CN111610697A
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發明（設計）人: 王華;吳中海;陳志特;馮明瑞
• 申請（專利權）人: 東莞科視自動化科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 東莞市中正知識產權事務所(普通合伙) 44231
• 代理人: 成偉

1.一種DI光刻機的LED光學系統，其特征在于，包括近紫外LED發光源模組、聚光鏡頭、光刻模組和成像鏡頭，所述近紫外LED發光源模組、聚光鏡頭、光刻模組和成像鏡頭順序連接；

所述近紫外LED發光源模組包括若干個近紫外LED發光源，每個所述近紫外LED發光源分別通過一所述聚光鏡頭與所述光刻模組連接，若干個所述近紫外LED發光源錯開排列在所述光刻模組的兩側；

所述光刻模組包括若干個DMD光刻裝置，若干個所述DMD光刻裝置呈直線排列，所述DMD光刻裝置的一端與所述成像鏡頭連接，另一端通過所述聚光鏡頭與所述近紫外LED發光源連接；

其中，所述近紫外LED發光源與DMD光刻裝置所在直線與若干個所述DMD光刻裝置所在直線之間的夾角小于90度；所述近紫外LED發光源內置有若干個近紫外LED發光體。

2.根據權利要求1所述的DI光刻機的LED光學系統，其特征在于，所述成像鏡頭的軸線垂直于曝光平面。

3.根據權利要求1所述的DI光刻機的LED光學系統，其特征在于，所述近紫外LED發光源還包括外殼和控制接口，若干個所述近紫外LED發光體均勻分布在所述外殼內，所述控制接口與所述近紫外LED發光體連接；所述外殼的一側開設有紫外光輸出口，所述近紫外LED發光體和控制接口均設置在所述外殼的另一側；所述紫外光輸出口與所述聚光鏡頭連接。

4.根據權利要求3所述的DI光刻機的LED光學系統，其特征在于，所述近紫外LED發光源還包括用于與冷卻裝置連接的冷卻接口，所述冷卻接口設置在所述控制接口一側，并與所述近紫外LED發光體連接。