[發(fā)明專利]預(yù)熱裝置及預(yù)熱方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010547101.6
• 申請(qǐng)日: 2020-06-16
• 公開（公告）號(hào): CN111725100B
• 公開（公告）日: 2023-02-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 程旭文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/66;H01L21/324
• 代理公司: 北京國昊天誠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11315
• 代理人: 施敬勃

1.一種預(yù)熱裝置，用于在半導(dǎo)體設(shè)備中預(yù)熱被加熱件，其特征在于，包括：

預(yù)熱腔(110)，所述預(yù)熱腔(110)用于容納所述被加熱件，所述預(yù)熱腔(110)的頂部設(shè)有測溫窗(120)；

加熱部(200)；

紅外測溫部(300)，所述紅外測溫部(300)設(shè)置于所述預(yù)熱腔(110)之外，所述紅外測溫部(300)與所述預(yù)熱腔(110)活動(dòng)連接；

在對(duì)所述被加熱件預(yù)熱前或進(jìn)行預(yù)熱時(shí)，所述紅外測溫部(300)位于第一位置，所述紅外測溫部(300)通過所述測溫窗(120)測量位于所述預(yù)熱腔(110)內(nèi)的所述被加熱件的溫度；

在所述被加熱件的溫度滿足目標(biāo)溫度的情況下，所述紅外測溫部(300)位于第二位置，所述紅外測溫部(300)避讓所述測溫窗(120)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)熱裝置，其特征在于，所述預(yù)熱裝置還包括到位檢測部(530)，所述到位檢測部(530)用于檢測所述紅外測溫部(300)是否位于所述第一位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的預(yù)熱裝置，其特征在于，所述預(yù)熱裝置還包括控制部，所述控制部用于在所述被加熱件位于所述預(yù)熱腔(110)內(nèi)，且所述紅外測溫部(300)位于所述第一位置的情況下，控制所述加熱部(200)開啟，以及在所述被加熱件的溫度滿足目標(biāo)溫度且所述紅外測溫部(300)位于所述第二位置的情況下，控制所述加熱部(200)關(guān)閉。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)熱裝置，其特征在于，所述預(yù)熱裝置還包括驅(qū)動(dòng)部(510)，所述驅(qū)動(dòng)部(510)設(shè)置于所述預(yù)熱腔(110)，所述紅外測溫部(300)與所述驅(qū)動(dòng)部(510)連接，所述驅(qū)動(dòng)部(510)可驅(qū)動(dòng)所述紅外測溫部(300)在所述第一位置和所述第二位置之間移動(dòng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的預(yù)熱裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)部(510)為單作用彈簧復(fù)位氣缸。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的預(yù)熱裝置，其特征在于，所述預(yù)熱裝置還包括氣壓調(diào)節(jié)閥，所述氣壓調(diào)節(jié)閥與所述驅(qū)動(dòng)部(510)的進(jìn)氣管路連通。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)熱裝置，其特征在于，所述被加熱件包括托盤(410)，所述測溫窗(120)沿自身軸向的投影位于所述托盤(410)的中心區(qū)域。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)熱裝置，其特征在于，在水平方向上，所述測溫窗(120)的尺寸大于所述紅外測溫部(300)的尺寸。

9.一種預(yù)熱方法，應(yīng)用于權(quán)利要求1-8中任意一項(xiàng)所述的預(yù)熱裝置，所述預(yù)熱方法包括：

在對(duì)所述被加熱件預(yù)熱前或進(jìn)行預(yù)熱時(shí)，移動(dòng)所述紅外測溫部至第一位置；

在對(duì)所述被加熱件進(jìn)行預(yù)熱且所述被加熱件的溫度滿足目標(biāo)溫度的情況下，移動(dòng)所述紅外測溫部至第二位置。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的預(yù)熱方法，其特征在于，所述預(yù)熱裝置還包括到位檢測部和控制部，所述到位檢測部用于檢測所述紅外測溫部是否位于所述第一位置；所述控制部用于在所述被加熱件位于所述預(yù)熱腔內(nèi)，且所述紅外測溫部位于所述第一位置的情況下，控制所述加熱部開啟，以及在所述被加熱件的溫度滿足目標(biāo)溫度且所述紅外測溫部位于所述第二位置的情況下，控制所述加熱部關(guān)閉，所述預(yù)熱方法還包括：

在所述被加熱件位于所述預(yù)熱腔內(nèi)，且所述紅外測溫部位于所述第一位置的情況下，控制所述加熱部開啟；

在所述被加熱件的溫度滿足目標(biāo)溫度且所述紅外測溫部位于所述第二位置的情況下，控制所述加熱部關(guān)閉。