[發(fā)明專利]一種工業(yè)化貝塞爾脈沖激光系統(tǒng)及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010537913.2
• 申請日: 2020-06-12
• 公開（公告）號: CN111922512B
• 公開（公告）日: 2021-12-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李東娟;楊直
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州奧創(chuàng)光子技術(shù)有限公司
• 主分類號: B23K26/0622
• 分類號: B23K26/0622;B23K26/046;B23K26/064;B23K26/70
• 代理公司: 北京索睿邦知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11679
• 代理人: 李根

本發(fā)明提供了一種工業(yè)化貝塞爾脈沖激光系統(tǒng)，包括：一個刻寫軸棱錐系統(tǒng)和一個貝塞爾脈沖激光系統(tǒng)，其中，刻寫軸棱錐系統(tǒng)包括，一個飛秒激光器、一個激光擴束單元、一個控制裝置、一個激光傳輸單元、一個刻寫單元、一個觀察單元和一個計算機。貝塞爾脈沖激光系統(tǒng)包括，一個超短脈沖激光器和一個貝塞爾輸出端。本發(fā)明通過飛秒激光刻寫石英塊，將微型軸棱錐作為工業(yè)化貝塞爾光束超短脈沖激光系統(tǒng)中的一部分，膠合于常規(guī)的全光纖型超短脈沖激光器，最終實現(xiàn)貝塞爾光束超短脈沖激光的輸出，應(yīng)用于工業(yè)化環(huán)境下的加工及新應(yīng)用開發(fā)中。同時本發(fā)明還提供了工業(yè)化貝塞爾脈沖激光系統(tǒng)的制造方法。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光纖激光加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種工業(yè)化貝塞爾脈沖激光系統(tǒng)及其制造方法。

背景技術(shù)

貝塞爾光束是其幅度由第一類貝塞爾函數(shù)描述的電磁、聲學(xué)引力輻射的場，貝塞爾光束是無衍射光束，貝塞爾光束在傳播時不會衍射和擴散，所以許多光學(xué)設(shè)備都需要應(yīng)用到貝塞爾光束，現(xiàn)有的產(chǎn)生貝塞爾光束的方法局限于空間領(lǐng)域，對環(huán)境要求極其苛刻，且系統(tǒng)整體的價格非常昂貴。

發(fā)明內(nèi)容

為此，本發(fā)明提供了一種工業(yè)化貝塞爾脈沖激光系統(tǒng)及其制造方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)中激光系統(tǒng)不能在工業(yè)化環(huán)境下產(chǎn)生超短脈沖貝塞爾光束的問題。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

本發(fā)明提供一種工業(yè)化貝塞爾脈沖激光系統(tǒng)，包括：

一個刻寫軸棱錐系統(tǒng)。其包括：

一個飛秒激光器，其具有一個激光輸出端，激光輸出端能夠輸出飛秒激光脈沖。和

一個激光擴束單元，其具有一個光束輸入端和一個光束輸出端，激光擴束單元與飛秒激光器通過光路對應(yīng)設(shè)置，光束輸入端能夠接收激光輸出端輸出的飛秒激光脈沖，激光擴束單元能夠?qū)⒓す馐M行擴束，光束輸出端能夠輸出擴束后的激光光束。和

一個控制裝置，其具有一個控制輸入端和一個控制輸出端，控制裝置與激光擴束單元通過光路對應(yīng)設(shè)置，控制輸入端能夠接收光束輸出端輸出的激光光束，控制裝置能夠?qū)す夤馐M行功率調(diào)節(jié)，控制輸出端能夠輸出進行功率調(diào)節(jié)后的激光光束。和

一個激光傳輸單元，其與激光擴束單元通過光路對應(yīng)設(shè)置，激光傳輸單元能夠?qū)⒐馐敵龆溯敵龅募す夤馐瓷浜笤龠M行聚焦。

一個刻寫單元，其包括一個石英塊和一個位移平臺，石英塊設(shè)于位移平臺，刻寫單元與激光傳輸單元通過光路對應(yīng)設(shè)置，經(jīng)激光傳輸單元的激光光束能夠?qū)⑹K刻寫為軸棱錐。和

一個觀察單元，其包括一個光源和一個電荷耦合元件，電荷耦合元件具有一個第一輸入端和一個第一輸出端，光源與刻寫單元通過光路相對應(yīng)設(shè)置，電荷耦合元件與刻寫單元通過光路相對應(yīng)設(shè)置，光源能夠發(fā)出觀察光束，觀察光束通過光路流經(jīng)刻寫單元，第一輸入端能夠接收觀察光束，第一輸出端能夠輸出第一輸入端接收到的觀察光束。和

一個計算機，其具有一個控制器，控制器具有若干個第二輸入端和若干個第二輸出端，第二輸入端與電荷耦合元件通過電或無線相連，第二輸出端與控制裝置通過電或無線相連。

一個貝塞爾脈沖激光系統(tǒng)，其包括：

一個超短脈沖激光器，其具有一個脈沖輸出端，脈沖輸出端能夠輸出超短脈沖激光。

一個貝塞爾輸出端，其包括一個軸棱錐和一個準(zhǔn)直器，軸棱錐與準(zhǔn)直器相固接，軸棱錐由刻寫軸棱錐系統(tǒng)制作而成，準(zhǔn)直器具有一個第三輸入端和一個第三輸出端，第三輸入端能夠接收脈沖輸出端輸出的超短脈沖激光，準(zhǔn)直器第三輸入端與超短脈沖激光器通過光纖相連，準(zhǔn)直器能夠?qū)⑦M入準(zhǔn)直器的超短脈沖激光轉(zhuǎn)變?yōu)闇?zhǔn)直脈沖激光，第三輸出端能夠輸出經(jīng)準(zhǔn)直器轉(zhuǎn)變?yōu)闇?zhǔn)直脈沖激光，第三輸出端輸出端的準(zhǔn)直脈沖激光流入軸棱錐，軸棱錐能為準(zhǔn)直脈沖激光提供最長的無衍射距離。

在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本發(fā)明還可以做如下改進：