[發明專利]修正方法在審
| 申請號： | 202010532996.6 | 申請日： | 2020-06-12 |
| 公開（公告）號： | CN112092224A | 公開（公告）日： | 2020-12-18 |
| 發明（設計）人： | 小松淳 | 申請（專利權）人： | 株式會社迪思科 |
| 主分類號： | B28D5/02 | 分類號： | B28D5/02;B28D7/00;B28D7/04;H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 喬婉;于靖帥 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 修正 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種修正方法，對切削裝置的保持面的高度進行修正，該切削裝置具有：
卡盤工作臺，其能夠利用所述保持面對被加工物進行吸引而保持，并且能夠繞規定的旋轉軸旋轉；以及
切削單元，其安裝具有切刃的切削刀具，包含作為該切削刀具的旋轉軸的主軸，
其特征在于，
該修正方法具有如下的步驟：
旋轉步驟，使該卡盤工作臺旋轉；以及
切削步驟，使以該主軸為旋轉軸而旋轉的該切削刀具的下端與旋轉的該卡盤工作臺的該保持面接觸，從而對該保持面進行切削而對該保持面的高度進行修正。
2.根據權利要求1所述的修正方法，其特征在于，
該切削步驟包含如下的步驟：
分度進給步驟，在將該切削刀具定位于比該卡盤工作臺的外周靠外側的位置的狀態下，使該切削單元在與該旋轉軸平行的分度進給方向上移動不足該切削刀具的厚度的距離；以及
分度進給方向位置固定步驟，使該切削刀具的該分度進給方向上的位置固定規定的時間，
在該切削步驟中，反復進行該分度進給步驟和該分度進給方向位置固定步驟，從而對整個該保持面進行切削。
3.根據權利要求1所述的修正方法，其特征在于，
在該切削步驟中，在使該切削刀具的下端與旋轉的該保持面接觸的狀態下，使該切削單元在與該旋轉軸平行的分度進給方向上移動，從而在從沿著該卡盤工作臺的該旋轉軸的方向觀察該保持面的情況下，將該保持面的至少一部分呈螺旋狀切削。
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