[發明專利]圖像感測裝置

在審

• 申請號: 202010528493.1
• 申請日: 2020-06-11
• 公開（公告）號: CN112786627A
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發明（設計）人: 鄭宇榮
• 申請（專利權）人: 愛思開海力士有限公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146;H04N5/369;H04N5/378
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 劉久亮;黃綸偉

1.一種圖像感測裝置，該圖像感測裝置包括：

基板；

單位像素的陣列，每個單位像素能操作以分別接收光并產生代表所接收的光的像素信號；

柵格結構，所述柵格結構形成于所述基板上方并位于相鄰單位像素之間以防止相鄰單位像素之間的串擾，

其中，所述柵格結構包括：

像素柵格區域，在第一方向上延伸的第一遮光圖案和在與所述第一方向垂直的第二方向上延伸的第二遮光圖案在所述像素柵格區域中被布置為彼此交叉；以及

開口柵格區域，所述開口柵格區域聯接到所述像素柵格區域并包括在所述第一方向上延伸的第一遮光圖案和在所述第二方向上延伸的第二遮光圖案，所述第一遮光圖案和所述第二遮光圖案在所述開口柵格區域中被布置為彼此不交叉，

其中，在所述像素柵格區域中，所述第一遮光圖案和所述第二遮光圖案包括：

空氣層；以及

覆蓋層，所述覆蓋層被設置在所述空氣層上方，并且

其中，所述開口柵格區域包括開口區域，在所述開口區域中所述第一遮光圖案或所述第二遮光圖案中的至少一個被配置為包括空氣層而沒有設置在所述空氣層上方的所述覆蓋層。

2.根據權利要求1所述的圖像感測裝置，其中，所述像素柵格區域的所述第一遮光圖案和所述第二遮光圖案以格狀布置。

3.根據權利要求1所述的圖像感測裝置，其中，所述開口柵格區域的所述第一遮光圖案和所述第二遮光圖案以線狀配置。

4.根據權利要求1所述的圖像感測裝置，其中，所述開口柵格區域具有與所述像素柵格區域聯接的第一端部和與所述第一端部相對的第二端部，并且所述開口區域形成于所述第二端部中。

5.根據權利要求1所述的圖像感測裝置，其中，所述開口柵格區域的所述第一遮光圖案和所述第二遮光圖案以Z字形布置。

6.根據權利要求1所述的圖像感測裝置，其中，所述開口柵格區域具有端部，在所述端部中，

1)平行布置的至少兩個所述第二遮光圖案聯接到第一遮光圖案，或者

2)平行布置的至少兩個所述第一遮光圖案聯接到第二遮光圖案。

7.根據權利要求6所述的圖像感測裝置，其中，在至少兩個所述第二遮光圖案之間或至少兩個所述第一遮光圖案之間的側壁形成所述開口區域。

8.根據權利要求1所述的圖像感測裝置，其中，所述開口柵格區域通過平行布置的至少兩個所述第一遮光圖案或平行布置的至少兩個所述第二遮光圖案聯接到所述像素柵格區域。

9.根據權利要求8所述的圖像感測裝置，其中，在至少兩個所述第一遮光圖案之間或至少兩個所述第二遮光圖案之間的側壁形成所述開口區域。

10.根據權利要求1所述的圖像感測裝置，其中，在所述像素柵格區域和所述開口柵格區域的每一個中，所述第一遮光圖案和所述第二遮光圖案還包括：

金屬層，所述金屬層形成于所述空氣層下方；以及

絕緣層，所述絕緣層形成為覆蓋所述金屬層。

11.根據權利要求1所述的圖像感測裝置，其中，所述像素柵格區域形成在設置有有效像素的有效像素區域和設置有虛設像素的虛設像素區域中，所述有效像素被配置為檢測場景的光以產生代表被檢測場景的像素信號，所述像素信號包括所述被檢測場景的空間信息，并且所述虛設像素被配置為檢測光。

12.根據權利要求11所述的圖像感測裝置，其中，所述開口柵格區域形成于所述虛設像素區域中并且位于與所述像素柵格區域不同的位置。

13.根據權利要求1所述的圖像感測裝置，該圖像感測裝置還包括彼此間隔開預定距離并布置為圍繞所述像素柵格區域的一個或更多個附加開口柵格區域。