[發明專利]一種修復太陽能電池界面缺陷的方法及設備在審
| 申請號： | 202010525104.X | 申請日： | 2020-06-10 |
| 公開（公告）號： | CN112466983A | 公開（公告）日： | 2021-03-09 |
| 發明（設計）人： | 覃榆森;朱凡;黃海平;李志剛;陸紅艷 | 申請（專利權）人： | 帝爾激光科技（無錫）有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 湖北武漢永嘉專利代理有限公司 42102 | 代理人： | 王丹 |
| 地址： | 214000 江蘇省無錫*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 修復 太陽能電池 界面 缺陷 方法 設備 | ||
1.一種修復太陽能電池界面缺陷的方法，其特征在于：本方法包括以下步驟：
在一定溫度下對太陽能電池片采用激光光源進行照射，完成界面缺陷修復，其中激光光源發出的激光照射在太陽能電池片上的光斑為平頂光斑，且覆蓋太陽能電池片表面；
所述太陽能電池片設置有含氫的鈍化層。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述的一定溫度為120-450℃。
3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：激光照射在太陽能電池片表面的光強為50-200kW/m2。
4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：在激光光源進行照射過程中，對太陽能電池片進行溫控，使太陽能電池片維持在所述一定溫度上下一定波動范圍。
5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：激光光源的照射時間為1s-600s。
6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述激光為紅外激光。
7.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述太陽能電池片為N型太陽能電池片。
8.根據權利要求7所述的方法，其特征在于：所述太陽能電池片為N-HIT、N-TOPCON、N-PEAL或N-PERT電池片。
9.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：本方法的步驟發生在給太陽能電池片制備電極之前。
10.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：本方法還包括：
在采用激光光源照射太陽能電池片之前，對太陽能電池片進行預熱；在完成界面缺陷修復后，對太陽能電池片進行冷卻。
11.一種用于實現權利要求1所述的修復太陽能電池界面缺陷的方法的設備，其特征在于：本設備包括激光裝置、載物臺和控溫裝置；其中，
載物臺用于放置所述的太陽能電池片，控溫裝置用于使所述的太陽能電池片處于一定溫度下，激光裝置用于向所述的太陽能電池片照射經過平頂整形的激光；
所述的激光裝置包括激光器和激光整形裝置，激光器用于發出激光，激光整形裝置用于將激光器發出的激光進行平頂整形至一定尺寸，覆蓋太陽能電池片的表面。
12.根據權利要求11所述的設備，其特征在于：所述的激光整形裝置為衍射光學器件或光纖激光勻化器。
13.根據權利要求11或12所述的設備，其特征在于：本設備還包括上料裝置，用以對載物臺進行上料。
14.根據權利要求11或12所述的設備，其特征在于：本設備還包括下料裝置，用以對載物臺進行下料。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
