[發明專利]一種光纖預制件、多模光纖及其制備方法有效
| 申請號: | 202010523611.X | 申請日: | 2020-06-10 |
| 公開(公告)號: | CN111676468B | 公開(公告)日: | 2022-03-18 |
| 發明(設計)人: | 張安林;黃榮;肖武豐;王潤涵;曹蓓蓓;王海鷹;尹旭峰 | 申請(專利權)人: | 長飛光纖光纜股份有限公司 |
| 主分類號: | C23C16/52 | 分類號: | C23C16/52;C23C16/50;C23C16/14;C23C16/56;C03B37/018;C03B37/025;C03B37/027;G02B6/02 |
| 代理公司: | 湖北武漢永嘉專利代理有限公司 42102 | 代理人: | 胡建平;張宇 |
| 地址: | 430073 湖北省*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 光纖 預制件 及其 制備 方法 | ||
1.一種光纖預制件芯棒的制備方法,其特征在于,包括:
芯棒制備階段,在PCVD工藝反應氣體密閉恒溫裝置(5)中的GeCl4反應氣路上增設一路第二流量控制器(13)控制支路,該第二流量控制器(13)控制支路管道由高純金屬管和第二流量控制器(13)組成,反應物GeCl4氣流經第一流量控制器(4)和第二流量控制器(13)雙流量控制器分段控制后進入后續沉積過程參與沉積反應,所述雙流量控制器選取相同量程,均為:55sccm~60sccm,對每個流量控制器設計100個GeCl4流量補償點,1~100點對應100個流量開度點,沉積至芯層沉積層邊緣起始階段先開啟第一流量控制器(4),按設定鍺的補償流量梯度流量值,開度區間在4%~20%,運行至第11個點對應開度時同時自動開啟第二流量控制器(13),此時,保持雙流量控制器處于同時以不同開度運行至第一流量控制器(4)至開度80%,保持第一流量控制器(4)恒定開度,第二流量控制器(13)以設定鍺補償值梯度開度7%~90%,持續運行直至芯棒沉積設定終止流量開度。
2.一種基于權利要求1所述方法制備得到的光纖預制件芯棒。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





