[發明專利]一種太陽能電池生產設備配套的硅片自動化上下料系統在審
| 申請號: | 202010522567.0 | 申請日: | 2020-06-10 |
| 公開(公告)號: | CN111540812A | 公開(公告)日: | 2020-08-14 |
| 發明(設計)人: | 上官泉元;劉寧杰;蘆偉;莊正軍 | 申請(專利權)人: | 常州比太科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18;H01L21/677 |
| 代理公司: | 北京集智東方知識產權代理有限公司 11578 | 代理人: | 吳倩 |
| 地址: | 213164 江蘇省蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 太陽能電池 生產 設備 配套 硅片 自動化 上下 系統 | ||
1.一種太陽能電池生產設備配套的硅片自動化上下料系統,其特征在于,包括主設備,以及對應所述主設備設置的硅片上料端及下料端;所述上料端的花籃緩存機構與硅片傳輸線同向并列設置,所述下料端的花籃緩存機構與硅片傳輸線同向并列設置;
還具有載板定位機構及對應所述載板定位機構的載板,所述載板的規格為M×N;其中,M為所述載板運動方向的硅片排數,即每排M片硅片,且M=5~9;N為所述載板垂直于運動方向的硅片列數,即每列N片硅片,且N≥10;
所述上料端的硅片傳輸線為三軌道,每條所述硅片傳輸線承載的硅片數量為3×N,且N≥10;所述下料端的硅片傳輸線為三軌道,每條所述硅片傳輸線承載的硅片數量為3×N,且N≥10。
2.根據權利要求1所述的一種太陽能電池生產設備配套的硅片自動化上下料系統,其特征在于,所述上料端與下料端并列設置在所述主設備的同一端;所述上料端的硅片傳輸線與對應用于上料的載板垂直設置;所述下料端的硅片傳輸線與對應用于下料的載板垂直設置。
3.根據權利要求2所述的一種太陽能電池生產設備配套的硅片自動化上下料系統,其特征在于,所述主設備的兩端分別設置有獨立升降臺及對應所述獨立升降臺的載板定位機構。
4.根據權利要求1所述的一種太陽能電池生產設備配套的硅片自動化上下料系統,其特征在于,所述上料端與下料端分別設置在所述主設備的兩端;所述上料端的硅片傳輸線與用于上料的載板并排平行設置;所述下料端的硅片傳輸線與用于下料的載板并排平行設置。
5.根據權利要求4所述的一種太陽能電池生產設備配套的硅片自動化上下料系統,其特征在于,所述上料端的載板升降機構設置于對應載板定位機構的下方;所述下料端的載板升降機構設置于對應載板定位機構的下方。
6.根據權利要求1-5任一項所述的一種太陽能電池生產設備配套的硅片自動化上下料系統,其特征在于,所述上料端及下料端均為敞開式結構。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
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H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





