[發明專利]一種柔性CIGS太陽能電池的電極及制作方法

在審

• 申請號: 202010522133.0
• 申請日: 2020-06-10
• 公開（公告）號: CN111769165A
• 公開（公告）日: 2020-10-13
• 發明（設計）人: 徐曉華;黃顯藝;吳建清;李濤;盧海江
• 申請（專利權）人: 宣城開盛新能源科技有限公司
• 主分類號: H01L31/0224
• 分類號: H01L31/0224;H01L31/032;H01L31/18
• 代理公司: 合肥東信智谷知識產權代理事務所(普通合伙) 34143
• 代理人: 李兵

1.一種柔性CIGS太陽能電池的電極，其特征在于，包括合金層，所述合金層的一側連接有鋁層。

2.根據權利要求1所述的一種柔性CIGS太陽能電池的電極，其特征在于，所述合金層為鈦鋁合金層。

3.根據權利要求1-2所述的一種柔性CIGS太陽能電池的電極，其特征在于，所述合金層為多層結構，且合金層中Ti的含量自靠近鋁層的一端向遠離鋁層的一端遞增。

4.根據權利要求3所述的一種柔性CIGS太陽能電池的電極，其特征在于，所述合金層為兩層，分別為Ti50Al(at％)層和Ti20Al(at％)層，所述Ti50Al(at％)層位于遠離鋁層的一側。

5.根據權利要求1-4任意一項所述的一種柔性CIGS太陽能電池的電極的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1).取鍍好AZO膜層的CIGS電池片，使用激光在AZO層上刻劃出導線凹槽；

(2).在刻畫好導線凹槽的電池頂部覆蓋掩膜版，掩膜版與導線凹槽對應位置鏤空；

(3).隨后送入磁控濺射/蒸鍍工序進行物理氣相沉積，鍍膜靶材選用鈦鋁合金，物理氣相沉積過程中鈦鋁合金中鈦的含量逐步遞減，理氣相沉積結束后取出電池后去掉掩膜版，得到通過物理氣相沉積電極的電池；

(4).將電池上通過物理氣相沉積的電極與組件匯流條進行鍵合。

6.根據權利要求5所述的一種柔性CIGS太陽能電池的電極的制備方法，其特征在于，所述步驟(1)與(2)之間還設置有清洗步驟，具體如下：將刻劃好的電池進行等離子清洗，清洗工藝條件：通入Ar，控制壓力約100-500Pa壓力，持續時間不少于2分鐘。

7.根據權利要求5所述的一種柔性CIGS太陽能電池的電極的制備方法，其特征在于，所述步驟(3)與(4)之間還設置有退火步驟，具體如下：將通過物理氣相沉積鍍好電極膜層的CIGS電池送進退火爐進行惰性氣氛圍為下退火，退火溫度為300±100℃。

8.根據權利要求5所述的一種柔性CIGS太陽能電池的電極的制備方法，其特征在于，所述導線凹槽刻畫深度為約0.05-0.1μm，寬度為5-10μm。

9.根據權利要求5所述的一種柔性CIGS太陽能電池的電極的制備方法，其特征在于，物理氣相沉積過程中鍍膜靶材具體使用如下：首先使用Ti50Al(at％)，沉積厚度為0.5μm；再使用Ti20Al(at％)靶材沉積厚度為0.3微米；其次沉積0.5微米純鋁。