[發明專利]一種晶圓切割機有效
| 申請號： | 202010520093.6 | 申請日： | 2020-06-09 |
| 公開（公告）號： | CN111730771B | 公開（公告）日： | 2021-10-29 |
| 發明（設計）人： | 胡星光;趙嶸 | 申請（專利權）人： | 安徽利鋒機械科技有限公司 |
| 主分類號： | B28D5/02 | 分類號： | B28D5/02;B28D7/04;B28D7/00 |
| 代理公司： | 北京同輝知識產權代理事務所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 王依 |
| 地址： | 242800 安徽省*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 切割機 | ||
1.一種晶圓切割機，其特征在于，包括：
機座、切割刀具、夾具、研磨刀具與載物臺；
所述夾具固定安裝在所述機座上，用于夾緊固定硅棒；
所述載物臺設置于所述夾具的正下方，所述載物臺包括環形部與中心部，所述中心部的上端面水平布置，且所述硅棒抵靠在所述中心部的上端面上，且所述硅棒沿豎直方向的投影落在所述中心部外；
所述環形部圍繞在所述中心部外側且所述硅棒沿豎直方向的投影落在所述環形部上，所述環形部沿其外緣形成凸緣，所述凸緣貼合在所述硅棒的外壁，且圍繞所述硅棒布置；
所述切割刀具水平布置，且與所述環形部的凸緣上端對齊；所述機座上固定安裝有驅動機構，所述驅動機構能夠驅動所述環形部沿豎直方向升降；
所述夾具包括導向管與夾具本體，所述導向管的內壁上設有內螺紋，所述導向管內套裝有定位管，所述定位管用于插入所述硅棒；所述定位管的外壁上設有外螺紋，所述導向管與定位管螺紋連接；所述夾具本體固定安裝在所述定位管上，所述夾具本體用于固定所述硅棒；
所述研磨刀具與所述中心的上端面對齊，用于研磨所述晶圓的外緣；
所述環形部上開設有若干凹槽，所述研磨刀具下側固定安裝有卡塊，所述研磨刀具沿著所述硅棒的外周布置，且所述研磨刀具通過所述卡塊可拆卸地與所述凹槽配合。
2.根據權利要求1所述的晶圓切割機，其特征在于，所述環形部中心部之間具有間隙。
3.根據權利要求1所述的晶圓切割機，其特征在于，所述研磨刀具呈環形，且圍繞所述晶圓的外緣布置。
4.根據權利要求1所述的晶圓切割機，其特征在于，所述中心部呈圓柱形。
5.根據權利要求1所述的晶圓切割機，其特征在于，所述中心部上端面上設有緩沖墊。
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