[發(fā)明專利]精準(zhǔn)校正走行臺(tái)車裝置及其位置校正方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010519147.7
• 申請(qǐng)日: 2020-06-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111591763A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-08-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊冬野;袁蕾
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州芯慧聯(lián)半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): B65G49/06
• 分類號(hào): B65G49/06;B65G35/00;B65G43/08
• 代理公司: 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

本發(fā)明揭示了精準(zhǔn)校正走行臺(tái)車裝置及其位置校正方法，精準(zhǔn)校正走行臺(tái)車裝置包括移動(dòng)臺(tái)車、設(shè)于移動(dòng)臺(tái)車頂部由多節(jié)關(guān)節(jié)臂體相互軸接成可折疊升降的升降組件、設(shè)于升降組件頂部的主旋轉(zhuǎn)軸、連接主旋轉(zhuǎn)軸的基板、設(shè)于基板上的支架、設(shè)于支架側(cè)邊的若干用于承載產(chǎn)品的支撐手部、以及設(shè)于支架上的用于檢測(cè)產(chǎn)品位置信息的視覺(jué)傳感器，所述基板與支架之間對(duì)稱設(shè)有多節(jié)相互軸接的關(guān)節(jié)臂體，多節(jié)關(guān)節(jié)臂體繞基板旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)支架水平移動(dòng)于基板的兩側(cè)。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了臺(tái)車避免產(chǎn)生震動(dòng)偏移，準(zhǔn)確校正升降距離和旋轉(zhuǎn)角度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于移動(dòng)運(yùn)輸裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種精準(zhǔn)校正走行臺(tái)車裝置及其位置校正方法。

背景技術(shù)

液晶基板走行臺(tái)車采用機(jī)械手從配置有多層液晶基板的晶圓盒中吸附液晶基板，在作業(yè)區(qū)域進(jìn)行配置液晶基板的操作。在配置有液晶基板的晶圓盒中，雖然基板配置在規(guī)定的位置，但實(shí)際上在晶圓盒內(nèi)會(huì)產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)偏移或橫向偏移，導(dǎo)致機(jī)械手取出包含載置誤差的液晶基板，在隨后的作業(yè)區(qū)域進(jìn)行的描繪或曝光工序中產(chǎn)生誤差，成為不良產(chǎn)品。

近年來(lái)液晶基板向大型化發(fā)展，微小的旋轉(zhuǎn)偏移或橫向偏移也由于液晶基板的大型化而產(chǎn)生更大的影響。另一方面，隨著液晶基板的大型化，搬運(yùn)物的慣性變大，生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間的控制亦十分重要。因此對(duì)于液晶基板走行臺(tái)車要求具有高剛性、不易振動(dòng)的結(jié)構(gòu)。

目前現(xiàn)有的部分液晶基板走行臺(tái)車雖然能夠進(jìn)行校正基板位置，但在連接部所具備的支撐臂上安裝檢測(cè)傳感器的情況下，由于慣性很大的液晶基板的機(jī)器手移動(dòng)，在連接部上也產(chǎn)生反作用力，由于支撐臂的剛性較低就會(huì)產(chǎn)生殘余振動(dòng)，而在產(chǎn)生這種振動(dòng)中測(cè)量橫向偏移，也將傳感器自身振動(dòng)中的數(shù)值檢測(cè)出來(lái)，因此產(chǎn)生無(wú)法檢測(cè)出真實(shí)的橫向偏移量的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，而提供精準(zhǔn)校正走行臺(tái)車裝置及其位置校正方法，從而實(shí)現(xiàn)臺(tái)車避免產(chǎn)生震動(dòng)偏移，準(zhǔn)確校正升降距離和旋轉(zhuǎn)角度。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明技術(shù)方案如下：

精準(zhǔn)校正走行臺(tái)車裝置，包括移動(dòng)臺(tái)車、設(shè)于移動(dòng)臺(tái)車頂部由多節(jié)關(guān)節(jié)臂體相互軸接成可折疊升降的升降組件、設(shè)于升降組件頂部的主旋轉(zhuǎn)軸、連接主旋轉(zhuǎn)軸的基板、設(shè)于基板上的支架、設(shè)于支架側(cè)邊的若干用于承載產(chǎn)品的支撐手部、以及設(shè)于支架上的用于檢測(cè)產(chǎn)品位置信息的視覺(jué)傳感器，所述基板與支架之間對(duì)稱設(shè)有多節(jié)相互軸接的關(guān)節(jié)臂體，多節(jié)關(guān)節(jié)臂體繞基板旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)支架水平移動(dòng)于基板的兩側(cè)。

具體的，所述升降組件包括與移動(dòng)臺(tái)車軸接的第一關(guān)節(jié)臂體、通過(guò)第一旋轉(zhuǎn)軸與第一關(guān)節(jié)臂體軸接的第二關(guān)節(jié)臂體、通過(guò)第二旋轉(zhuǎn)軸與第二關(guān)節(jié)臂體軸接的第三關(guān)節(jié)臂體。

具體的，所述第一旋轉(zhuǎn)軸上還套設(shè)有輔助板，輔助板與移動(dòng)臺(tái)車之間連接有第一輔助臂體；輔助板與第三關(guān)節(jié)臂體之間連接有第二輔助臂體。

具體的，所述第三關(guān)節(jié)臂體的頂部軸接主旋轉(zhuǎn)軸。

具體的，所述基板的頂部軸接兩第三旋轉(zhuǎn)軸，第三旋轉(zhuǎn)軸連接有第四關(guān)節(jié)臂體，第四關(guān)節(jié)臂體通過(guò)第四旋轉(zhuǎn)軸連接第五關(guān)節(jié)臂體，第五關(guān)節(jié)臂體的端部軸接支架的側(cè)邊。

具體的，所述主旋轉(zhuǎn)軸、第一旋轉(zhuǎn)軸、第二旋轉(zhuǎn)軸、第三旋轉(zhuǎn)軸、第四旋轉(zhuǎn)軸均連接有驅(qū)動(dòng)各自旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)裝置。

精準(zhǔn)校正走行臺(tái)車裝置位置校正方法，包括以下步驟：

1)精準(zhǔn)校正走行臺(tái)車裝置上的支架位置進(jìn)行角度偏移檢測(cè)；

2)根據(jù)視覺(jué)傳感器信號(hào)計(jì)算角度偏移的校正值；

3)控制系統(tǒng)根據(jù)校正值信息控制主旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行角度調(diào)整；

4)將產(chǎn)品移入至支架上的支撐手部；

5)根據(jù)視覺(jué)傳感器信號(hào)計(jì)算位置偏移的校正值；

6)控制系統(tǒng)根據(jù)校正值信息控制第一旋轉(zhuǎn)軸、第二旋轉(zhuǎn)軸、第三旋轉(zhuǎn)軸、第四旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，從而控制相應(yīng)關(guān)節(jié)臂體的移動(dòng)距離。