[發明專利]一種激光波前探測調整裝置及方法有效
| 申請號： | 202010516227.7 | 申請日： | 2020-06-09 |
| 公開（公告）號： | CN113783078B | 公開（公告）日： | 2023-03-28 |
| 發明（設計）人： | 郭亞丁;彭欽軍;張林;邵崇峰;陳中正;李陽;薄勇 | 申請（專利權）人： | 中國科學院理化技術研究所 |
| 主分類號： | H01S3/00 | 分類號： | H01S3/00;G01J9/00 |
| 代理公司： | 北京中政聯科專利代理事務所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 鄭久興 |
| 地址： | 100190 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 激光 探測 調整 裝置 方法 | ||
1.一種激光波前探測調整裝置，其特征在于，包括：
波前校正器，其包括鏡片和壓電陶瓷柱；
激光探測器，其與所述波前校正器的壓電陶瓷柱集成設置且所述激光探測器與所述壓電陶瓷柱設置在所述鏡片同一側，用于檢測直接入射激光束與經反射激光束在所述激光探測器上形成光斑的距離；所述激光探測器與所述壓電陶瓷柱前后交錯設置；所述鏡片背離所述壓電陶瓷柱設高反膜，靠近所述壓電陶瓷柱設半反透膜；
自控主機，用于根據所述距離計算驅動電壓值，并根據該驅動電壓值調節波前校正器的驅動電壓，驅動電壓使壓電陶瓷柱變形，壓電陶瓷柱粘接固定在鏡片上，以帶動鏡片產生不同面型。
2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述激光探測器包括：
支架，其與所述波前校正器的壓電陶瓷柱集成設置；
透鏡，其設置在所述支架上，且所述透鏡與所述鏡片平行；
CCD探測器，其所述透鏡同軸設置在所述支架上，且所述CCD探測器設置在所述透鏡背離所述鏡片一側。
3.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述透鏡為凸面鏡結構。
4.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述激光探測器與所述壓電陶瓷柱均為多個；
所述激光探測器與所述壓電陶瓷柱間隔陣列排布。
5.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述波前校正器還包括：
基底，其設置有插排，所述插排集成有所述激光探測器和所述壓電陶瓷柱的導線插口；
陶瓷驅動器，其通過所述插排與所述壓電陶瓷柱電連接。
6.根據權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述壓電陶瓷柱與所述基底固定連接，所述壓電陶瓷柱與所述鏡片膠性連接。
7.根據權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述基底是由碳化硅材料制作而成。
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