[發明專利]旋轉干燥裝置

在審

• 申請號: 202010512206.8
• 申請日: 2020-06-08
• 公開（公告）號: CN112349618A
• 公開（公告）日: 2021-02-09
• 發明（設計）人: 井出悟;高岡和宏;山本寬
• 申請（專利權）人: 株式會社岡本工作機械制作所
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 鹿屹;李雪春

1.一種旋轉干燥裝置，其特征在于，包括：

旋轉的旋轉臺；

旋轉臺墊，設置于所述旋轉臺，具有保持工件的吸附面；以及

真空吸引機構，通過從所述吸附面吸引流體，將所述工件吸附于所述吸附面，

在所述吸附面形成有：吸引口，與所述真空吸引機構相連，供所述真空吸引機構所吸引的所述流體流動；以及供所述流體流動的吸引槽，向所述工件的方向開口并與所述吸引口相連。

2.根據權利要求1所述的旋轉干燥裝置，其特征在于，

在所述吸附面形成有直線狀的吸引凹部，所述吸引凹部向所述工件的方向開口，且兩端從所述旋轉臺墊的旋轉中心附近向旋轉半徑方向延伸，

所述吸引口形成于所述吸引凹部，

所述吸引槽在與所述吸引凹部交叉的方向上延伸，并與所述吸引凹部相連。

3.根據權利要求2所述的旋轉干燥裝置，其特征在于，

所述吸引槽的一端從所述旋轉臺墊的周向邊緣向外側開口，

所述吸引凹部的兩端部不從所述旋轉臺墊的周向邊緣向外側開口。

4.根據權利要求1至3中任意一項所述的旋轉干燥裝置，其特征在于，所述吸引口形成為比所述旋轉臺墊的旋轉中心更靠旋轉半徑方向外側。